반도체 주검사장비 국산화 30년 숙원 풀었다

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외국 선진장비업체 `성역`깨고 국내서 잇따라 개발

해외 선진장비업계의 성역이던 반도체 주검사장비(메인테스터)의 국산 시대가 열렸다.

 메인테스터는 노광장비와 함께 반도체 장비 국산화의 마지막 관문으로 여겨져온 분야로, 일본의 텔·어드밴테스트, 미국의 테러다인·애질런트 등이 장악해 왔다. 특히 메인테스터는 웨이퍼 대구경화 및 반도체 복합화로 그 수요가 급증하면서 황금시장으로 급부상하고 있다.

 14일 관련업계에 따르면 유니테스트(대표 김종현 http://www.uni-test.com)는 로엔드 테스터로 기술력을 다진 데 이어 최근 하이엔드 장비 개발을 마무리하고 국내외 시장 공략을 본격화한다. 이미 로엔드 장비를 하이닉스 등에 양산용으로 공급하고 있는 이 회사는 고속 메모리 모듈용 테스터(모델명 UNI480)를 신규 개발하면서 사실상 메인테스터의 국산화를 완성했다. 이 제품은 메모리의 고속화에 대응, 테스트 속도를 기존 700에서 880으로 향상시켰다.

 김영신 상무는 “메모리의 작동 속도가 빨라지면서 단품뿐 아니라 모듈 단계에서도 테스트가 중요해졌다”며 “모듈 테스트 중 검증을 받아 실제 라인에 적용중인 것은 유니테스트 제품밖에 없으며 올해 국내외 주요 D램 업체로 시장을 확대할 것”이라고 말했다.

 디아이(대표 최명배 http://www.di.co.kr)는 웨이퍼 번인 장비와 주검사 장비의 기능을 결합한 반도체 검사장비(모델명 DM3500)를 개발했다. 이 제품은 메모리칩에 스트레스를 가해 초기 불량 제품을 걸러내는 웨이퍼 번인 시스템 기능 외에 메모리 셀 내부의 불량을 찾아내고 분석 후 수리하기 위한 리던던시 애널리시스(redunduncy analysis) 등 대부분의 주검사기 기능을 함께 갖췄다.

 이 회사 김응한 이사는 “국산화가 진척된 웨이퍼 번인 시스템과 달리 외산 업체들이 장악하고 있는 주검사기 장비 시장에 수입 대체 효과를 가져올 것”이라며 “국내 및 해외 수출을 통해 향후 이 제품으로 5000만달러의 매출을 기대하고 있다”고 밝혔다.

 이에 앞서 프롬써어티(대표 임광빈 http://www.from30.co.kr)는 웨이퍼 상태에서 불량 여부와 위치를 파악하고 이를 재생하는 데 필요한 정보까지 제공해 주는 웨이퍼 번인 및 메인테스터 복합제품(모델명 프롬3200)을 개발해 양산 적용에 들어갔다. 이 장비는 D램보다 정밀한 검사가 필요한 플래시메모리까지 대응이 가능하다.

 반도체산업협회 이종휘 부장은 “국내 장비업계의 국산화 노력에도 불구하고 급성장하는 시장을 따라잡지 못해 국산화율은 지난 2004년 29%에서 지난해에는 16%로 떨어진 것으로 분석된다”며 “최근 주요 장비업체를 중심으로 걸음마 단계의 국산화가 진행되고 있는만큼 이를 살릴 수 있는 산·관·학·연의 협력이 어느 때보다 절실하다”고 강조했다.

 심규호·한세희기자@전자신문, khsim·hahn@