해외 선진장비업계의 성역이던 반도체 주검사장비(메인테스터)의 국산 시대가 열렸다.
메인테스터는 노광장비와 함께 반도체 장비 국산화의 마지막 관문으로 여겨져온 분야로, 일본의 텔·어드밴테스트, 미국의 테러다인·애질런트 등이 장악해 왔다. 특히 메인테스터는 웨이퍼 대구경화 및 반도체 복합화로 그 수요가 급증하면서 황금시장으로 급부상하고 있다.
14일 관련업계에 따르면 유니테스트(대표 김종현 http://www.uni-test.com)는 로엔드 테스터로 기술력을 다진 데 이어 최근 하이엔드 장비 개발을 마무리하고 국내외 시장 공략을 본격화한다. 이미 로엔드 장비를 하이닉스 등에 양산용으로 공급하고 있는 이 회사는 고속 메모리 모듈용 테스터(모델명 UNI480)를 신규 개발하면서 사실상 메인테스터의 국산화를 완성했다. 이 제품은 메모리의 고속화에 대응, 테스트 속도를 기존 700에서 880으로 향상시켰다.
김영신 상무는 “메모리의 작동 속도가 빨라지면서 단품뿐 아니라 모듈 단계에서도 테스트가 중요해졌다”며 “모듈 테스트 중 검증을 받아 실제 라인에 적용중인 것은 유니테스트 제품밖에 없으며 올해 국내외 주요 D램 업체로 시장을 확대할 것”이라고 말했다.
디아이(대표 최명배 http://www.di.co.kr)는 웨이퍼 번인 장비와 주검사 장비의 기능을 결합한 반도체 검사장비(모델명 DM3500)를 개발했다. 이 제품은 메모리칩에 스트레스를 가해 초기 불량 제품을 걸러내는 웨이퍼 번인 시스템 기능 외에 메모리 셀 내부의 불량을 찾아내고 분석 후 수리하기 위한 리던던시 애널리시스(redunduncy analysis) 등 대부분의 주검사기 기능을 함께 갖췄다.
이 회사 김응한 이사는 “국산화가 진척된 웨이퍼 번인 시스템과 달리 외산 업체들이 장악하고 있는 주검사기 장비 시장에 수입 대체 효과를 가져올 것”이라며 “국내 및 해외 수출을 통해 향후 이 제품으로 5000만달러의 매출을 기대하고 있다”고 밝혔다.
이에 앞서 프롬써어티(대표 임광빈 http://www.from30.co.kr)는 웨이퍼 상태에서 불량 여부와 위치를 파악하고 이를 재생하는 데 필요한 정보까지 제공해 주는 웨이퍼 번인 및 메인테스터 복합제품(모델명 프롬3200)을 개발해 양산 적용에 들어갔다. 이 장비는 D램보다 정밀한 검사가 필요한 플래시메모리까지 대응이 가능하다.
반도체산업협회 이종휘 부장은 “국내 장비업계의 국산화 노력에도 불구하고 급성장하는 시장을 따라잡지 못해 국산화율은 지난 2004년 29%에서 지난해에는 16%로 떨어진 것으로 분석된다”며 “최근 주요 장비업체를 중심으로 걸음마 단계의 국산화가 진행되고 있는만큼 이를 살릴 수 있는 산·관·학·연의 협력이 어느 때보다 절실하다”고 강조했다.
심규호·한세희기자@전자신문, khsim·hahn@