나노장비상용화 사업사 확정

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 세메스·주성엔지니어링·뉴파워프라즈마·아이피에스·유진테크·유니테스트 등 6개사가 45∼32나노급 나노반도체장비 상용화사업의 주관업체로 확정됐다.

이들 업체는 개발자금으로 2년간 약 10억원씩 총 20억원 정도의 예산을 지원받게 된다.

23일 관련업계에 따르면 나노반도체장비 원천기술상용화사업의 관리기관인 반도체연구조합은 7개 분야 장비개발 사업자로 이들 6개사를 확정하고, 해당업체에 통보했다.

식각장비에서는 △세메스의 32㎚급 옥사이드 에처 △주성엔지니어링의 하드마스크 에처 △뉴파워프라즈마의 스페이스 에처 등 3개 사업이, 증착장비에서는 △아이피에스의 차세대 하이케이 증착장비 △유진테크의 플라즈마 이용 증착장비 △주성엔지니어링의 45㎚ 저온 선택 에피장비 등이 선정됐다.

검사장비에서는 유니테스트의 3.2Gbps 고속 메모리테스트 장비가 확정됐다.

45나노급 이하 나노반도체장비는 이르면 내년부터 양산에 활용되기 시작할 차세대 기술로, 이 사업을 통해 개발된 장비들은 국내 주요 반도체업체들의 평가팹 검증을 거쳐, 실제 생산라인에 적용된다.

나노반도체장비 상용화사업과 함께 공고된 원천기술 개발 주관기관은 서울대·핵융합연구센터·연세대·단국대·한양대·고려대 등 6개 대학(연구소)로 결정됐다.

반도체연구조합은 22일과 23일 사업총괄단장·전문위원·관련 전문가 등이 참석한 가운데 과제 및 사업비를 최종 확정, 11월 중에 공식 발표할 예정이다.

그러나 주관 사업자 선정과 관련, 대부분 한 회사에 한 개 과제만 주어져 당초 취지인 ‘선택과 집중’보다는 ‘형평성’에 치우쳤다는 지적이 제기되고 있다. 특히 후속으로 진행될 2차 신규과제 개발사업자 선정에서도 한 차례 선정된 기업은 응모 자체가 불가능해, 세계 규모 반도체장비업체 육성이라는 사업 취지와 어긋난다는 지적이 일고 있다.

심규호기자@전자신문, khsim@