대만 LED업계, 6인치 에피웨이퍼 생산 합류

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세계 최대 규모의 칩 양산 능력을 보유한 대만 발광다이오드(LED) 업계가 6인치 에피웨이퍼 생산 경쟁에 가세했다. 삼성LED·LG이노텍 등 한국 LED 칩 업체들이 올 연말 양산을 목표로 6인치 웨이퍼 개발에 착수한 가운데, 향후 전세계 LED 칩 시장에서 한국·대만 간 양산 주도권 경쟁도 한층 뜨거워질 전망이다.

22일 업계에 따르면 LED 칩 핵심 공정장비인 유기금속화학증착장비(MOCVD) 업체인 독일 엑시트론은 최근 대만 텍코어로부터 고휘도 LED 칩 생산을 위한 최첨단 장비인 ‘AIX G5 HT’를 다량 수주했다고 밝혔다.

텍코어는 세계 최대 LED 칩 메이커인 대만 에피스타가 19.3%의 지분을 보유중인 LED 칩 제조업체다. 칩 양산 능력을 획기적으로 끌어올리기 위해 최근 30억대만달러(약 1074억원) 규모의 증자를 통해 MOCVD 투자에 나선다고 밝히기도 했다.

이번에 텍코어가 발주한 AIX G5 HT 장비는 전세계 MOCVD 시장을 사실상 독점한 엑시트론이 얼마 전 개발 완료한 최첨단 제품이다. 6인치 에피웨이퍼를 8장씩 생산할 수 있어 현재 선보인 대면적 웨이퍼 장비 가운데는 가장 앞서 있다. 6인치 에이웨이퍼의 칩 양산 능력은 현재 주력인 2인치에 비해 많게는 40%까지 끌어올릴 수 있는 차세대 공정이다.

라이너 베카르드 엑시트론 마케팅담당 부사장은 “텍코어에 공급할 신제품은 직전 장비에 비해 생산성을 배 이상 확대할 수 있는 혁신적인 MOCVD 장비”라고 설명했다.

6인치 에피웨이퍼는 현재 전세계 LED 칩 업계의 최대 관심사다. LED 백라이트유닛(BLU)과 조명 시장을 중심으로 LED 칩 수요가 폭증하는 상황에서 칩 생산 능력을 대폭 확대할 수 있는 대안이기 때문이다. 그러나 지금까지는 지난해 공식 출범한 삼성LED가 엑시트론과 가장 먼저 6인치 MOCVD 장비 개발에 착수하며 가장 빠른 행보였다. 최근에는 LG이노텍도 4인치 웨이퍼 생산을 건너뛰고 6인치로 직행하려는 움직임을 보이면서, 6인치 웨이퍼 조기 양산을 위한 한국·대만 LED 칩 업계의 경쟁이 더욱 치열해질 전망이다.

서한기자 hseo@etnews.co.kr

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