[2010대한민국 기술대상] 은상/파크시스템스

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[2010대한민국 기술대상] 은상/파크시스템스

◇파크시스템스-XE-3DM(3-Dimensional AFM)

파크시스템tm(대표 박상일)의 XE-3DM(3-Dimensional AFM)는 CD(Critical Dimension), LER(Line Edge Roughness), LWR(Line Width Roughness) 등 수십 나노미터 크기의 첨단 소자 특성을 정확히 분석할 수 있는 산업용 자동화 장비다. 세계 최초로 AFM 헤드를 회전해 다양한 각도와 크기의 돌출부 구조물을 측정하도록 개발됐다. 자동화된 인라인에서도 적합하도록 개발됐다. 자체 개발한 방법을 이용해 기존 대비 처리량도 크게 향상시켰다. 3차원 측정이 가능한 원자현미경을 이용해, 기존 장비로는 측정할 수 없었으나 선폭이 작아짐에 따라 보다 중요해진 측벽조도(Sidewall Roughness)와 측벽 기울기(Sidewall Angle) 측정이 가능하다.

파크시스템스는 연구용 원자현미경을 빠르고 정확하게 개선해 산업용 원자현미경 XE시리즈를 출시하고 있는 기업이다. 지난 20여년간의 경험과 축적된 노하우로 만들어진 파크시스템스의 원자현미경은 기존 제품에 비해 매우 진화된 것으로 평가된다. 단순히 외산 제품을 국산화한 것이 아니라 세계에서 가장 우수한 나노계측장비를 한국에서 개발하는 기업이다.

이 업체는 외형보다는 아이디어와 기술력이 핵심 경쟁력이라는 이념 하에 우수한 기술 인력을 규합해 부설 연구소를 설립했고, 병력특례업체로도 지정됐다. 파크시스템스의 나노계측분석연구실은 교과부가 선정한 국가지정연구실(NRL)이다.

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