“자외선(UV) LED를 이용한 웨이퍼 주변노광장치 양산에 성공한 것은 우리가 세계 처음입니다.”
청주에 있는 유일한 지식산업센터(옛 아파트형 공장)인 ‘세중테크노밸리’에 입주해 있는 인피테크(대표 홍진표)는 규모는 작지만 세계 첫 기술을 보유한 강소 기업이다. 반도체에 생산에 사용하는 자외선 LED를 이용한 웨이퍼 주변노광장치를 개발해 2009년 대기업 양산 라인에 적용하는 데 성공했다.
자외선 LED를 사용한 주변노광장치는 유리 기판 끝부분을 노광(빛을 조사해 포토레지스트를 박리하는 공정)하는데 사용한다. 기존 수은램프에 비해 수명이 10배 이상 길다. 전기 사용도 크게 줄일 수 있다. 중금속 물질인 수은도 사용하지 않는다. 예열 시간 없이 점등 후 즉시 노광이 가능한 것도 장점이다.
홍진표 사장은 “기존에는 수은램프가 주로 일본 제품이었다”며 “고가의 일제보다 더 싸고 품질이 좋은 제품을 국산화해 시장에 내놓았다”고 설명했다.
2년간의 개발 끝에 2009년 8인치(200㎜) 반도체 웨이퍼 자외선 LED를 이용한 주변노광장치를 내놓은 이 회사는 2012년 12인치(300㎜)용 제품도 내놓았다. 또 같은 해 디스플레이용 제품까지 개발하는 데 성공해 주위를 놀라게 했다.
인피테크를 설립한 홍 사장이 자외선 LED에 관심을 갖게 된 건 순전히 고객의 니즈를 충족시켜 주기 위한 것이었다.
“창업초기 대기업 반도체 담당 엔지니어와 업무 미팅을 하면서 기존 노광장치 광원이 비싸고 수명이 짧다는 걸 알게 됐습니다. 고객의 이런 불편을 어떻게 하면 해결해 줄 수 있을지 고민하다 지역 대학의 도움을 받아 처음으로 자외선 LED를 이용한 주변노광장치를 양산하게 됐습니다”.
인피테크는 이 기술을 2010년 5월 특허로 등록했다. 이어 2012년 10월에는 세계 특허인 PCT 도 출원했다. 또 두 달 뒤인 12월에는 삼성디스플레이가 신기술 개발 협력사 중 상용화에 성공한 기업에 주는 ‘크레파스 퍼스트 원’ 상도 받았다. 지난해 3월에는 CE와 FCC 인증을 획득했고, 충북 내 우수 지식재산(IP) 기업에도 뽑혔다.
기술력을 인정받고 대형 레퍼런스(고객사)까지 확보한 인피테크는 이제 눈을 해외로 돌리고 있다. 특히 반도체와 디스플레이 장비 종주국인 일본 시장을 겨냥하고 있다.
이공계 출신이지만 영업에 큰 매력을 느끼고 있는 홍 사장은 “일본의 한 대형 설비업체가 우리가 개발한 자외선 LED를 이용한 주변노광장치에 큰 관심을 보이고 있다”며 “일본은 반도체와 디스플레이 시장 규모가 우리보다 훨씬 큰데 한 번 물꼬가 터지면 연속 공급이 가능할 것”으로 기대했다.
2007년 3월 설립돼 창립 8년째에 접어든 인피테크는 반도체·디스플레이 노광장치뿐만 아니라 경화 장비 등으로 사업영역을 확대하고 있다. 한 분야만 하는 ‘유닛’ 단위에서 한발 나아가 자외선 노광장치를 적용한 반도체 스테이지(STAGE)도 개발해 공급하고 있다. 또 PCB 패턴 노광장치도 선보였다.
5년 후 상장을 목표로 하고 있다는 홍 사장은 “올해 매출은 지난해보다 100% 이상 늘어날 것으로 보인다”며 “현재보다 훨씬 어렵고 고부가 기술인 i라인(365㎚)과 h라인(405㎚) 파장 대역 노광장치도 개발했다”며 “딥(Deep) 영역 자외선(248㎚) 주변 노광장치 개발에도 나서겠다”고 말했다. 청주=
방은주기자 ejbang@etnews.com
