한미반도체(대표 곽동신)는 장비기업 세메스를 상대로 제기한 특허침해금지 청구 소송 1심에 이어 2심 판결에서도 승소했다고 30일 밝혔다. 세메스는 삼성전자 반도체·디스플레이 장비 부문 자회사다.
서울고등법원 제4민사부는 세메스가 한미반도체 ‘비전 플레이스먼트’ 제품군인 쏘잉 앤 플레이스먼트(Sawing&Placement) 장비 핵심 특허기술을 무단 사용했다고 인정했다. 세메스에 해당 장비 생산·판매 등을 금지하고 이미 판매한 장비에 대해서는 로열티 명목으로 21억9000만원을 배상하라고 판결했다.
한미반도체 쏘잉 앤 플레이스먼트 장비는 웨이퍼 칩을 자른 뒤 검사장비로 옮기는 후공정 분야 장비다. 칩을 옮길 때 정확히 이동할 수 있도록 특수 용액을 바른 뒤 신속하게 건조하는 기술을 도입했다.
한미반도체가 세메스에 특허 기술 침해 소송을 제기한 것은 지난 2007년이다. 지난 2012년 1심 판결에서 승소했으나 세메스가 항소하면서 2심 소송을 진행해왔다.
배옥진기자 withok@etnews.com
