어플라이드머티리얼스는 모바일과 TV에 사용하는 얇고 가벼운 고해상도 플렉시블 OLED 디스플레이를 생산하는 박막봉지(TFE) 플라즈마 화학기상증착장비(PECVD) ‘AKT-20K’와 ‘AKT-40K’를 출시했다고 13일 밝혔다.
이번 신제품은 민감한 OLED 디바이스를 보호하는 박막봉지 배리어 층을 증착하는 데 사용한다. OLED 디바이스 봉지 재료인 프런트 글라스를 대체해 벤더블(bendable)과 커브드(curved) 디스플레이를 생산할 수 있다.
플렉시블 OLED는 모바일 산업에서 가장 빠르게 성장하고 있다. 새로운 TFE 장비는 얇고 가벼워서 점점 증가하는 플렉시블 OLED 수요를 충족시킬 수 있다고 회사 측은 설명했다.
AKT TFE 장비 제품군 핵심은 수분과 산소 침투율이 매우 낮고 디퓨전 배리어 필름(diffusion barrier films)을 제공해 플렉시블 OLED 수명을 연장시키는 것이다. 100°C 이하 저온에서 증착한 고성능 필름은 OLED 재료가 산소나 수분 등에 노출됐을 때 손상되는 민감한 특성을 해결할 수 있다.
장비 특징 중 하나인 ‘비전 정렬 기술’은 광학인쇄와 식각 공정단계를 제거해 제조비용을 절감한다. 정밀하게 마스크 위치를 조정해 정확히 증착할 수 있다.
브라이언 시에 어플라이드머티리얼스 디스플레이사업부문 부사장은 “AKT-20K TFE는 이미 OLED 디스플레이 생산에 적용했으며 스크린 모양을 변형시킬 수 있는 플렉시블 및 커브드 모바일 애플리케이션 도입이 빨라질 것”이라고 말했다.
배옥진기자 withok@etnews.com
