넥스틴, 전공정 검사장비 첫 상용화…`KLA-텐코 독점 깬다`

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넥스틴 이지스 로고
<넥스틴 이지스 로고>

AP시스템 자회사인 넥스틴이 반도체 전공정 검사 장비를 국내 대기업 메모리반도체 업체에 공급한다. 2010년 설립 후 첫 공급이자 웨이퍼 패턴을 검사하는 전공정 검사 장비 `첫 국산화` 사례다. 이 시장은 미국 램리서치로 인수된 KLA-텐코가 사실상 독점하고 있다. 토종 장비 업체가 대항마로 떠올랐다는 평가다.

8일 넥스틴은 독자 개발한 반도체 전공정용 2D 웨이퍼 패턴 결함 검사 장비 `이지스(AEGIS)`를 국내 주요 반도체 업체에 공급했다고 밝혔다.

이 장비는 자외선(UV)과 이보다 파장이 더 짧은 `딥(Deep) UV`를 활용, 웨이퍼 표면을 찍고 패턴 차이를 소프트웨어로 검사해 결함을 발견한다. 광학 기술과 패턴 차이를 발견하는 소프트웨어 기술이 핵심이다. 국내 장비 업체 가운데 웨이퍼 패턴 결함 검사 장비를 상용화한 곳은 넥스틴이 처음이다. 넥스틴 장비는 수요처로부터 KLA-텐코 장비 대비 우수한 검사 감도를 확보하면서도 속도는 30%나 개선됐다는 평가를 받았다.세계 전공정 검사장비 시장 규모는 연간 1조5000억원 수준으로 추정된다. 노광기와 함께 진입 기술 장벽이 높은 분야다. KLA-텐코가 세계 시장 90% 이상을 점유하고 있다.

국내 반도체 소자 업계 한 관계자는 “KLA-텐코가 관련 시장에서 독점 지위를 활용해 장비 가격 높이기, 공급 지연 손해금 청구 배제 등 사실상 `배짱`을 부리는 일이 많았다”며 “대항마가 생기면 이런 배짱 장사는 더 이상 어렵게 될 것”이라고 말했다.

박태훈 대표를 포함해 넥스틴 핵심 연구진은 KLA-텐코, 어플라이드머티어리얼즈 등에서 경험을 쌓은 장비 업계 베테랑이다. 2010년 설립된 넥스틴은 한국투자파트너스 등 9개 벤처캐피털로부터 150억원 투자 자금을 유치해 수년간 기술 개발에 매진해 왔다. 지난해 10월 AP시스템과의 인수합병(M&A)을 통해 해외 진출을 위한 경쟁력을 강화했다.

이지스는 웨이퍼 패턴 결함 차이를 검출해낼 수 있다
<이지스는 웨이퍼 패턴 결함 차이를 검출해낼 수 있다>

넥스틴은 이번에 공급을 성사시킨 이지스(AEGIS) 장비 외에도 3차원 낸드플래시 반도체 웨이퍼 패턴 검사에 특화된 아이리스(IRIS) 장비 상용화도 추진 중이다. 이 장비에는 다중 비초점면 이미징 기술이 적용된다. 조만간 수주를 받을 수 있을 것으로 회사는 기대하고 있다.

넥스틴 전공정 검사 장비는 국내 소자 업체가 진행하는 반도체 장비·재료 성능평가에도 통과했다. 사업은 국내 소자업체가 중소기업이 개발한 제품 성능을 평가, 검증한 후 성능 인증서를 발행하는 것이 골자다. 국내 중소기업이 낮은 인지도를 극복하고 해외 소자 업계에 장비와 소재를 소개 및 판매하는데 도움을 주고자 마련됐다.

넥스틴 관계자는 “이번 공급 성공 사례와 성능 인증서를 바탕으로 해외 수출도 적극 추진할 계획”이라며 “조만간 좋은 결과가 있을 것”이라고 말했다.

한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com