반도체 패턴웨이퍼 지원사업 성과 높아… 대표 상생프로그램 안착

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반도체 패턴웨이퍼 지원사업 성과 높아… 대표 상생프로그램 안착

삼성전자, SK하이닉스, 동부하이텍의 패턴웨이퍼를 중소업체에 공급하는 사업이 국내 반도체 산업계의 대표 `상생 프로그램`으로 안착했다.

11일 한국반도체산업협회에 따르면 올해 패턴웨이퍼 공급량은 작년 1622장 대비 22% 증가한 1979장인 것으로 나타났다.

장비 재료 업체는 소자 고객사의 패턴웨이퍼가 있어야 신 장비와 재료의 성능 검증이 가능하다. 국내 소자 대기업의 패턴웨이퍼는 첨단 미세공정이 적용돼 장당 가격이 수백만원에 달할 정도로 비싸다. 값을 치른다 하더라도 쉽사리 구할 수 없는 품목이기도 하다. 공정 중간 웨이퍼를 뺄 경우 일부 작업이 중단되기 때문이다. 소자 기업은 공동개발 관계가 없으면 패턴웨이퍼를 제공하지 않는다.

패턴웨이퍼 지원 사업은 국내 소자 대기업이 중소 장비, 소재 업체에 미세 패턴웨이퍼를 저렴한 가격(18만원)에 공급하는 동반성장 프로그램이다. 산업통상자원부가 반도체 산업 재도약 전략 일환으로 2014년 10월 발표하고 지난해부터 본격 추진됐다.

국내 소자 대기업은 금전적, 물질적 보상 없이 단지 상생협력 차원에서 패턴웨이퍼를 제공하고 있다. 18만원은 기초 웨이퍼 가격과 핸들링 비용, 인건비 등만이 포함된 최소 금액이다.

사업 시작 전에는 연간 1000장 정도로 수량을 제한했으나 신청량이 많아 소자 업체와 협의 후 전체 수량을 두 배로 확대했다. 20곳이 넘는 국내 장비 소재 중소 업체가 이 프로그램을 통해 패턴웨이퍼를 구매했다. 에어프로덕트, 에어리퀴드 같은 외국계 기업도 참여했다. 세계 반도체 시장 선두업체가 제작한 패턴웨이퍼를 저렴하고 빠르게 확보할 수 있다는 점이 주효했다. 협회는 선정평가위원회 심사를 거쳐 지원 대상을 선정하고 있다.

한국반도체산업협회 관계자는 “협회 추진 사업 가운데 가장 만족도가 높은 것이 패턴웨이퍼 지원 사업”이라면서 “패턴웨이퍼 공급량 확대, 종류 다양화 등 요구가 많은데 소자기업과 충분히 협의 후 이를 반영할 계획”이라고 말했다.

한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com