[세미콘코리아2017]KSM, 반도체 장비용 밀봉 부품 `벨로즈` 전시

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KSM의 벨로즈. KSM은 세계 벨로즈 시장 점유율 1위다.
<KSM의 벨로즈. KSM은 세계 벨로즈 시장 점유율 1위다.>

KSM은 내달 8일부터 10일까지 서울 삼성동 코엑스에서 개최되는 반도체장비 재료 전문 전시회 세미콘코리아 2017에 참가해 반도체 장비에 탑재되는 밀봉(Sealing)용 부품인 벨로즈(Bellows)를 전시한다고 밝혔다.

반도체 생산에 사용되는 핵심 장비 대부분은 진공 상태에서 가스와 케미컬 재료를 활용해 공정을 진행한다. 이 때문에 장비 요소요소에 내외부를 확실하게 차단하는 밀봉 부품이 장착돼야 한다. 벨로즈는 주름 잡힌 모양의 관을 의미한다. KSM 벨로즈는 반도체 장비 업체에 공급돼 웨이퍼를 반송하는 장비 등에서 수직, 수평 운동을 할 때 내외부를 차단하는 역할을 한다. 진공 유지, 유독물질 누출 방지를 위해 모든 핵심 장비에 벨로즈가 탑재된다.

KSM은 1979년 창립된 회사다. 37년간 장비 밀봉 관련 부품 사업만 해왔다. 1987년에는 밀봉 부품 가운데 하나인 `메커니컬 실`을 처음으로 국산화해 대통령상을 받았다. 메커니컬 실은 펌프와 파이프 사이 누수를 막는 부품이다. 1990년에는 세계적 정유 부품사 플로서브와 제휴해 메커니컬 실 설계와 제조기술을 세계적 수준으로 업그레이드했다. 현재 메커니컬 실 분야에선 KSM이 점유율 1위다.

벨로즈는 1990년대에 첫 국산화에 성공했다. 국내외 반도체 장비 업체가 KSM 벨로즈를 사용한다. 이 제품 점유율도 KSM이 세계 1위다. 박판을 성형하고 용접해 이를 다층으로 쌓는 것이 벨로즈 분야의 핵심 기술력이다. KSM 벨로즈는 해외 매출 비중이 80%에 달한다. 주요 고객사는 한국뿐 아니라 미국과 중국, 일본, 유럽 등에 고루 분포돼 있다.

KSM 관계자는 “표준화된 사이즈는 물론 개별 업체별로 원하는 스펙(유연성, 지름 등)을 맞춤형으로 발빠르게 제작, 공급하고 있다”면서 “KSM 벨로즈는 특수 소재를 사용해 극고저온에서도 변형이 없고 부식에 대한 내성이 강한 것이 특징”이라고 말했다.

KSM 벨로즈는 반도체뿐 아니라 디스플레이 패널, 항공우주, 의료, 자동차, 태양광 분야에서도 활용되고 있다.

김윤호 KSM 대표(회장)는 “직원의 열정과 노력이 바탕이 돼 세계 최고 기술력을 갖춘 기업으로 성장했다”며 “앞으로도 핵심 기술에 집중해 세계 시장에서 주도권을 지켜나가겠다”고 말했다.

한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com