동우화인켐이 20여년간 독점하던 국내 암모니아수 시장에 경쟁업체가 뛰어든다. 고순도 암모니아수(NH4OH)는 반도체 공정 범용 세정제 원료로 사용된다. 반도체 공정이 미세화·고도화하면서 세정제 사용량이 늘어난다.
21일 업계에 따르면 독일 화학업체 바스프는 전남 여수 암모니아수 생산 공장을 2분기 완공한다. 보리스 예니쉐스 바스프 전자재료 사업본부 사장은 전자신문과 인터뷰에서 “인프라 설비를 넓게 구축해 고객사 수요에 맞춘 빠른 증설이 가능하다”고 말했다.
대만 암모니아수 생산 시설에 이은 두 번째 생산기지다. 바스프 관계자는 “반도체 고객사 10나노 공정 인증을 통과했다”며 품질을 자신했다. 바스프 측은 투자액과 생산규모를 밝히지 않았다.
암모니아수는 과산화수소수(H2O2), 초순수(DIW)와 혼합돼 반도체 공정 범용 세정액으로 사용된다. 반도체 공정이 미세화·고도화할수록 공정 횟수가 늘어난다. 공정 사이 불순물을 제거하는 범용 세정제 사용량도 함께 증가한다.
국내 암모니아수 시장은 일본 동우화인켐이 1996년 연산 2200톤 규모 암모니아수 생산공장을 전북 익산에 지으면서 독점적 지위를 유지하고 있는 것으로 전해졌다. 동우화인켐은 2004년 익산부지에 두 번째 암모니아수 공장을 증설했다.
동우화인켐은 모회사 스미토모화학과 합자한 중국 수미카(Sumika) 시안법인을 통해 삼성전자 시안 반도체 공장에 암모니아수를 비롯한 과산화수소수, 황산 등 반도체용 고순도케미칼(UPC)을 공급하고 있다. 동우화인켐은 각종 반도체, 디스플레이 소재를 생산·공급한다. 2016년 회계기준(4월 회계) 매출 2조1491억원, 영업이익 2504억원을 기록했다.
국내 업체로는 남해화학이 여수에 암모니아수 공장을 짓고 있다. 투자금액은 90억원이다. 남해화학 관계자는 “올해 안에는 공장이 완공된다”면서 “완공 후 고객사 인증 등을 거칠 것”이라고 말했다.
화학소재 업계 관계자는 “반도체 공정이 미세화에 따라 더욱 높은 순도 화학물이 요구돼 측정·분석하는 기술이 중요해졌다”면서 “같은 장비를 사용하더라도 축적된 노하우에 따라 측정·분석 수준에서 차이가 난다”고 했다.
이종준기자 1964winter@etnews.com
