에스엔텍 '웨이퍼형 공정진단 센서 시스템' 개발 착수

반도체 디스플레이 장비업체 에스엔텍은 반도체 공정 상태를 진단하는 '웨이퍼형 공정진단 센서 시스템' 개발에 착수했다고 11일 밝혔다.

에스엔텍은 산업통상자원부 2017년 부품소재개발사업 내 해당과제 주관기업으로 선정됐다. 수요자 연계형 과제로 대기업이 수요 기업으로 참여한다. 개발 후 판로가 확보돼 있다. 개발기간은 이달부터 2020년 12월까지다. 사업비는 정부출연금 약 43억5000만원, 민간부담금 약 20억8000만원을 포함해 총 64억3000만원이 투입될 예정이다.

반도체 공정진단은 진공챔버 속 상황을 센서를 통해 실시간으로 확인할 수 있는 기술이다. 고도화되면 생산 수율을 끌어올릴 수 있다.

에스엔텍 관계자는 “반도체와 디스플레이 공정을 효율화하는 첨단 공정진단 센서 시스템 개발에 성공해 외산 제품을 대체하고 국내 장비 시장을 선도하는 기업으로 발돋움할 것”이라고 말했다.

한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com