캐논, 300㎜ 반도체 웨이퍼 노광장치 200㎜ 대응

캐논의 i선 노광기 FPA-5550iZ2(왼쪽)와 KrF 노광기 FPA-6300ES6a(오른쪽).
캐논의 i선 노광기 FPA-5550iZ2(왼쪽)와 KrF 노광기 FPA-6300ES6a(오른쪽).

일본 캐논이 300㎜ 반도체 웨이퍼 노광장치를 200㎜ 생산라인에 사용할 수 있도록 '200㎜ 옵션' 기능을 제공한다고 12일 밝혔다. 최근 200㎜ 반도체 생산라인 가동률이 크게 높아지고 있는데 따른 조치다.

캐논이 200㎜ 옵션을 제공하는 장비는 수은램프를 활용하는 i선, 크립톤(Kr)과 불소(F) 계열 가스를 혼합, 발생하는 레이저를 광원으로 쓰는 KrF 노광기다. 캐논은 시장에서 경쟁력을 확보하기 힘들다는 판단에 KrF의 다음 버전인 불화아르곤(ArF, 193nm 파장) 노광장비는 개발을 하지 않았다. 말하자면 이미 만들어놓은 구세대 노광 장비를 200㎜ 생산용으로 판매하겠다는 것이다.

캐논은 200㎜ 웨이퍼 기준 i선 노광기가 시간당 230장, KrF 노광기가 시간당 225장을 처리할 수 있다고 설명했다.

한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com