[미리보는 세미콘코리아2018]넥스틴, 2D·3D 웨이퍼 패턴 결함 장비 출품

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넥스틴의 2D 웨이퍼 패턴 결함 검사 장비 이지스.
<넥스틴의 2D 웨이퍼 패턴 결함 검사 장비 이지스.>

반도체 전공정 검사·계측 장비 전문업체 넥스틴은 새해 1월 31일부터 2월 2일까지 서울 삼성동 코엑스에서 열리는 세미콘코리아 2018 전시회에서 2D, 3D 웨이퍼 패턴 결함 검사 장비를 국내외 고객사에 선보일 계획이라고 밝혔다.

넥스틴은 검사·계측 장비 시장을 독점하고 있는 미국 KLA-텐코의 유일한 대항마로 평가받는 기업이다. 2010년 설립된 넥스틴은 수년간의 연구개발(R&D) 과정을 거쳐 2D 웨이퍼 패턴 결함 검사 장비인 이지스(AEGIS)를 개발하고 국내외 주요 반도체 대형 고객사에 공급을 성사시켰다. 이지스는 자외선(UV)과 UV보다 더 짧은 파장의 '딥 UV'를 활용해 웨이퍼 표면을 촬영한 뒤 완성 웨이퍼와 비교, 결함을 찾아낸다. 광학 설계 기술과 소프트웨어 비교 기술이 핵심 경쟁력이다. 국내 업체 중 이 같은 장비를 상용화한 업체는 넥스틴이 처음이다.

넥스틴 이지스는 이 분야 독점 기업인 KLA-텐코 장비보다 신뢰성과 가격 경쟁력이 높다는 평가를 받아 상용화에 성공했다. 넥스틴은 이 같은 성과에 힘입어 올해 약 100억원에 가까운 매출을 기록할 것으로 기대된다. 박태훈 넥스틴 대표는 “내년에는 고객사 주문이 확대돼 올해보다 매출이 2~3배 확대될 것”이라고 전망했다.

넥스틴은 세미콘코리아 2018에 1차 개발이 끝난 3D 웨이퍼 패턴 검사 장비인 아이리스(IRIS)의 주요 스펙도 공개할 예정이다. 이 장비에는 다중 비초점면 이미징 기술이 적용돼 보다 면밀하게 웨이퍼 패턴 결함을 검사할 수 있다. 아직 세계에서 3D 방식 웨이퍼 패턴 검사 장비를 상용화한 곳은 없다. 넥스틴은 내년에 이 장비를 상용화하는 것이 목표다.

넥스틴 박태훈 대표를 포함한 대부분의 개발진은 KLA-텐코와 세계 1위 장비 업체 어플라이드머티어리얼즈에서 경험을 쌓은 베테랑이다. 디스플레이 장비 업체 AP시스템은 이 같은 넥스틴의 기술력과 미래 가능성을 높게 사 투자했다. 현재 1대 주주다.

한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com