[미리보는 세미콘코리아2018]린데코리아 특수가스·엔지니어링 기술 출품

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충남 아산시 소재 린데코리아 아산화질소(N2O) 가스 생산 공장 전경.
<충남 아산시 소재 린데코리아 아산화질소(N2O) 가스 생산 공장 전경.>

독일 가스기술 전문업체 린데그룹 자회사인 린데코리아는 세미콘코리아 2018에서 아산화질소(N2O), 불소(F2) 제너레이터 등 반도체 디스플레이 공정에 활용되는 특수가스와 가스 엔지니어링 시스템을 선보인다고 밝혔다.

린데그룹은 1895년 설립된 회사로 2017 회계연도 매출액은 약 170억유로(약 22조1500억원)에 이른다. 창업자 카를 본 린데 박사는 공기를 액화시켜 산소와 질소를 분리하는 원천 기술을 개발해 세계 산업용 가스 시장을 이끌었다는 평가를 받는다. 전자사업 부문이 반도체 디스플레이 공정용 특수 가스 등을 공급한다.

린데코리아 전자사업부가 주력하는 반도체 디스플레이용 제품은 반도체 공정에서 실리콘다이옥사이드(SiO2) 박막을 증착할 때 사용하는 N2O다. SiO2는 D램과 낸드플래시 같은 메모리, 시스템반도체 칩에서 절연체 층으로 사용된다. 이 공정에서 활용되는 N2O는 절대 수요가 많고 그 비중도 계속 확대되고 있다. N2O는 또한 유기발광다이오드(OLED) 생산 공정에도 다량 사용되고 있다.

양한용 린데코리아 전자사업부문 전무는 “린데는 N2O 생산설비 원천기술을 보유한 회사로 전 세계 N2O 생산설비의 80% 이상을 공급해오고 있다”면서 “이러한 강점을 기반으로 국내 최대 생산규모를 확보해 시장을 선도하고 있다”고 설명했다.

린데코리아 전자사업부문의 또 다른 주력 매출원은 F2 가스를 생산하는 F2 제너레이터다. F2는 세정이나 식각 등 다양한 생산 공정에서 활용되지만 반응성이 너무 좋아 실린더에 고압으로 충전하거나 이송하지 못하는 단점이 있다. 린데는 이러한 문제를 해결하고 안정된 F2 공급을 위해 고객사 공장 부근에 설치해 사용할 수 있는 F2 제너레이터 시스템을 개발, 납품하고 있다.

린데코리아는 N2O와 F2 제너레이터 외 실리콘층 식각 공정과 얇은 단결정 박막을 입히는 에피 프로세스 공정에 활용되는 염화수소(HCI)와 네온, 제온 가스와 같은 희귀성 가스를 세미콘코리아 전시회에 선보일 계획이다.

한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com

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