프리시스, 반도체 이어 OLED 장비 진공밸브로 사업 확장

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OLED용 증착 장비에 탑재되는 프리시스의 대형 직사각형 밸브(Large Rectangular Valve).
<OLED용 증착 장비에 탑재되는 프리시스의 대형 직사각형 밸브(Large Rectangular Valve).>

반도체 제조장비에 탑재되는 진공밸브 전문업체 프리시스가 유기발광다이오드(OLED) 분야로 사업을 확장한다. 물량 확대에 대비해 공장 증축 작업도 하고 있다.

30일 프리시스 관계자는 “주요 장비 고객사로 OLED 증착 장비용 진공밸브를 공급했고, 테스트를 하고 있다”면서 “조만간 패널 업체 클린룸에 우리 제품이 들어갈 것으로 기대한다”고 밝혔다. 이 관계자는 “31일부터 개최되는 세미콘코리아 2018에도 해당 제품을 전시하고 신규 고객사 확보에 힘을 쏟을 계획”이라고 설명했다.

프리시스 OLED용 진공밸브는 크게 두 가지다. 대형 직사각형 밸브(Large Rectangular Valve)는 클러스터 형태 디스플레이 증착 장비 부근 기판 이송장치에 붙어 외부 공기를 차단하고, 일정 압력을 유지한다. 이 제품이 고객사로 납품됐다. 현재 개발이 완료돼 고객사 공급을 기다리고 있는 펜듈럼(Pendulum) 밸브는 디스플레이 장비에 붙는 진공 크라이오 펌프에 장착된다.

회사 관계자는 “두 가지 밸브 외 다양한 제품군을 새롭게 개발하고 있다”고 말했다.

1999년 설립된 프리시스는 반도체 장비 진공밸브 분야에서 130여건의 국내외 핵심 특허를 보유하고 있는 강소기업이다. 진공밸브는 반도체 웨이퍼나 디스플레이 기판을 이송하는 장치 혹은 실제 생산 공정이 수행되는 프로세스 챔버 등에 장착돼 진공도를 유지하는 장비 핵심 부품으로 꼽힌다. 과거에는 스위스나 일본 업체 제품을 수입해서 사용했지만, 프리시스가 독자 기술로 국산화에 성공했다.

프리시스는 독자로 기계 부품 가공 역량을 갖추면서도 높은 정밀도를 구현할 수 있는 계측 프로세스를 보유해 고객사가 원하는 사양의 고신뢰성 진공밸브를 공급할 수 있다.

국내 최대 반도체 업체는 물론 주요 장비 업체가 프리시스의 진공밸브를 구매해서 사용한다. 이름만 들어도 알 만한 글로벌 반도체 장비 제조업체와도 거래 중이다.

이 회사 진공밸브를 구매해 사용하는 고객사 관계자들은 내열성 등 내구성이 높아 수명이 길고 많은 반복 동작에도 분진이 방출되지 않아 수율 관리에도 효과적이라는 평가를 내놓고 있다.

프리시스 관계자는 “지난해 8월부터 약 1000평 규모로 공장 증축 작업을 시작했고, 올 중반기 혹은 하반기에 증축이 완료돼 본격적인 가동에 들어갈 것”이라면서 “늘어나는 밸브 수요를 충족하기 위한 시설 투자”라고 설명했다.

한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com