원익큐엔씨, 日 램프 업체와 특허소송서 이겼다…1심 패소 뒤집고 승소

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원익큐엔씨가 일본 우시오가 제기한 특허소송 2심에서 1심 패배를 뒤집고 승소했다. 세계 부품업계 다윗과 골리앗 싸움으로 눈길을 끈 특허 소송에서 다윗이 거인을 물리친 것이다.

원익그룹 계열사 원익큐엔씨는 일본 우시오가 제기한 엑시머 진공 자외선 램프 관련 특허침해소송 2심에서 승소했다고 12일 밝혔다. 우시오는 세계 산업용 램프 시장을 사실상 독점하고 있는 최고 기업이다.

원익큐엔씨가 개발한 엑시머 진공 자외선 램프는 디스플레이 공정에서 발생한 유기물을 빛으로 세정하는 장치다. 우시오는 지난 2015년 이 제품이 디자인 3건과 진공관 내 성분 조성 방법 1건 등 총 4건에 대해 특허를 침해했다며 소송했다.

원익큐엔씨의 엑시머 램프 (사진=원익큐엔씨)
<원익큐엔씨의 엑시머 램프 (사진=원익큐엔씨)>

특허 소송 대상 제품은 원형의 엑시머 램프다. 이 램프는 172㎚ 단파장을 발생시켜서 유기물 원자 간 결합 고리를 끊어낸 뒤 디스플레이 패널이나 웨이퍼에서 유기물을 제거한다.

일반 형광등과 비슷하게 생긴 원형의 엑시머 진공 자외선 램프는 빛이 패널에 닿는 부분이 고르지 않다. 이를 극복하기 위해 별도로 석영관을 만들고 램프를 배치하면 빛이 고르게 표면에 닿는다.

우시오는 석영관 제작 비용이 상당한 점을 감안, 원형이 아닌 사각형 모양의 엑시머 램프를 상용화했다. 원익큐엔씨도 사각형 모양의 엑시머 램프를 개발해 왔다. 그러나 소송이 진행되면서 연구개발(R&D)이 지연됐다.

원익큐엔씨의 엑시머 램프 (사진=원익큐엔씨)
<원익큐엔씨의 엑시머 램프 (사진=원익큐엔씨)>

우시오는 원익큐엔씨가 석영관 내부 성분 조성에서 자사 특허를 침해했다고 제기했지만 2심에서 인정되지 않았다.

원익큐엔씨 관계자는 “석영관 내부 성분 조성은 사각형 램프 제작과 동일하기 때문에 특허 침해 판결을 받았다면 앞으로 차세대 제품인 사각형 램프 시장 참여 자체가 봉쇄될 뻔 했다”면서 “독자 기술로 15년 동안 개발했고, 처음부터 특허를 침해하지 않았음을 확신했다”고 설명했다.

양사는 2년 동안 치열하게 특허전쟁을 벌였다. 우시오가 4건에 대해 특허침해금지 손해 배상을 청구하자 원익큐엔씨가 권리 범위 확인 심판 등으로 맞대응했다. 1심에서 원익큐엔씨는 1건을 제외한 나머지 3건에서 패소했다. 이에 불복해 2심이 시작됐고, 우시오가 특허 범위를 축소해 다시 소를 제기하면서 소송이 12건까지 늘기도 했다. 원익큐엔씨는 2심에서 모두 승소함에 따라 추후 항소가 제기되더라도 최종 승소할 수 있다고 봤다.

세계 산업용 엑시머 램프 시장 규모는 연간 수백억원대로 크지 않지만 일본 업체가 독점해 왔다.

원익큐엔씨 관계자는 “지난 수십년 동안 일본 기업이 이 시장을 독점해 왔기 때문에 우리가 하지 않으면 계속 외산에 의존할 수밖에 없다”면서 “소송에 대응하느라 주춤된 R&D에 다시 속도를 내고, 다양한 분야로의 적용 가능성을 살피는 등 기술 경쟁력을 더 높이고 시장을 확대하는 노력을 계속 해 나가겠다”고 말했다.

배옥진 디스플레이 전문기자 withok@etnews.com

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