메카로, 지르코늄 전구체 제조 기술 특허기술상 수상

반도체 장비부품·화학소재 전문업체 메카로는 자사 지르코늄 프리커서(전구체)인 'ZM40' 제조 기술이 특허청 주관 '2018년 상반기 특허기술상 충무공상'을 받았다고 27일 밝혔다.

특허는 '지르코늄 금속을 함유하는 신규 유기금속화합물 및 그 제조 방법'에 대한 것이다. 메카로는 국내 최초로 지르코늄 전구체 개발 양산에 성공한 바 있다.

회사 관계자는 “세계 고유전체(하이-K) 유전체 시장에서 유일한 국내 기업 특허”라면서 “기존 해외 기술보다 균일하고 우수한 물성의 박막제조가 가능하다”고 말했다. 메카로는 지난해까지 이 기술을 통해 약 1100억원의 매출을 올렸다.

메카로의 지르코늄 전구체는 D램 핵심 요소인 커패시터에 증착돼 전류 누설과 간섭을 막는다. 21나노 이하 D램 생산에 쓰이고 있다. 메카로는 미국, 중국, 일본, 대만 등 해외 고객사 확대와 제품 다양화에 역량을 집중하고 있다.

한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com