파웰코퍼레이션, 정전척 전원장치용 파워서플라이 출시

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파워코퍼레이션이 출시한 정전척용 DC파워서플라이
<파워코퍼레이션이 출시한 정전척용 DC파워서플라이>

파웰코퍼레이션(대표 강창수)은 정전척(ESC) 전원장치로 사용되는 DC파워서플라이를 출시했다고 3일 밝혔다.

이 제품은 반도체 및 디스플레이 제조 공정에서 기판을 정전척에 고정시키기 위한 목적으로 정전력을 발생시키기 위한 전원을 공급한다. 정전척은 반도체와 LCD제조장비 진공 체임버 내부에 기판이 놓이는 곳으로 정전기력을 사용해 기판을 하부전극에 고정한다.

파웰 DC파워서플라이는 직관적 사용자인터페이스(UI)와 사용자경험(UX)으로 사용자가 간편하게 조작할 수 있다. 사용자 편의성을 고려해 원격 제어가 가능한 PC프로그램을 자체 개발했다. PLC 연동도 가능하다.

부하 손상도 방지한다. 전원장치 사용시 합선으로 부하가 손상되는 경우가 종종 발생한다. 파웰 DC파워서플라이는 합선 발생시 4마이크로초 이내에 출력을 차단, 부하가 손상되는 것을 방지한다. 전원 차단 후 재기동까지 휴지 시간 설정이 가능하다.

전하 방전 기능도 있다. 전원 장치 차단 시 남아있는 부하를 방전시키기 위한 출력 토글 동작이 가능하다. 부하의 저항이 설정 값 이하로 측정될 경우 출력을 차단하는 기능도 갖췄다.

강창수 파웰코퍼레이션 대표는 “반도체, 디스플레이 분야 뿐 아니라 모바일 등 다양한 분야에서 활용 가능한 장치”라면서 “경쟁력 있는 제품을 제공해 고객에게 최고 만족과 서비스를 제공하는 기업이 되도록 노력하겠다”고 말했다.

권상희기자 shkwon@etnews.com