나노종기원, 시편 관찰·제작 한 번에 가능한 주사전자현미경 상용화

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상용화된 대기 비개방 통합형 주사전현미경
<상용화된 대기 비개방 통합형 주사전현미경>

나노종합기술원(원장 이재영)이 시편 관찰과 제작기능을 통합한 주사전자현미경을 개발·상용화 했다.

나노종기원은 나노융합기술본부(본부장 양준모)가 코셈(대표 이준희)과 협력해 '대기 비개방형 시편제작 통합형 주사전자현미경'을 개발해 상용화했다고 4일 밝혔다.

이 현미경은 기존에 분리돼 있던 시편 가공과 관찰 기능을 일체화 한 것이 특징이다. 제작 시편을 관찰할 때 대기 노출과 시편 변형이 불가피했던 기존 문제를 해결했다. 이차전지나 유기발광다이오드(OLED) 소자 연구개발(R&D)·분석에 크게 기여할 수 있다.

개발 현미경은 시편 가공시 발생하는 열 변화도 방지할 수 있다. 별도 냉각모듈을 장착해 가공 중 발생하는 변화를 최소화한다.

이준희 코셈 대표는 “이번 제품 개발과 상용화로 세계 시장에서 경쟁력을 확보할 수 있게 됐다”고 말했다.

이재영 나노종기원장은 “국가 나노인프라시설을 활용한 연구지원에서 한 발 더 나아가 중소기업 경쟁력 확보에 도움을 줄 수 있게 됐다”며 “앞으로도 연구기술 사업화로 중소장비 기업 산업 경쟁력 제고에 노력하겠다”고 말했다.

대전=김영준기자 kyj85@etnews.com