부산에 파워반도체 상용화센터 가동, 생산량 월 1000장 규모

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부산 기장군 방사선의과학산단에 구축된 파워반도체 상용화센터 전경.
<부산 기장군 방사선의과학산단에 구축된 파워반도체 상용화센터 전경.>

부산시가 파워반도체 웨이퍼를 월 1000장까지 생산할 수 있는 파운드리를 구축했다. 설계와 제조 기술을 개발하고도 생산 시설이 없어 생산하지 못하는 팹리스 기업을 지원한다. 파워반도체는 부가 가치가 높은 다품종 소량생산 품목이지만 90% 이상을 수입에 의존하고 있다. 기술 자립을 위한 국산화가 시급한 품목이다.

부산시와 부산테크노파크(원장 최종열)는 최근 부산 기장군 방사선 의과학단지에 연면적 5973㎡ 규모의 '파워반도체 상용화센터'를 구축, 중소 파워반도체 기업 대상으로 수탁 생산을 시작한다고 13일 밝혔다.

센터에는 식각장비, 증착장비, 클린룸을 포함해 모두 20종이 넘는 파워반도체 전용 장비를 갖췄다. 4인치 웨이퍼와 최근 주류로 떠오른 6인치 웨이퍼를 다룬다. 국내에서 6인치 파워반도체 웨이퍼 생산 시설을 구축한 곳은 센터가 처음이다. 센터는 라인 구축과 동시에 아이큐랩과 월 100장 규모의 위탁 생산 계약을 맺은 데 이어 J사를 비롯한 3개 기업과 연내 시제품 테스트 및 양산을 위한 협의를 진행하고 있다.

부산시는 센터에 가공 장비를 계속 추가해 오는 2021년에는 파워반도체 웨이퍼 생산 규모를 월 5000장, 연 6만장까지 늘려 나갈 계획이다. 월 5000장은 파워반도체 파운드리 세계 기업인 미국 엑스팹과 비슷한 규모다.

파워반도체 상용화센터 가공 장비.
<파워반도체 상용화센터 가공 장비.>

부산시는 오는 2022년까지 센터 내에 '파워반도체 신뢰성 평가 인증센터'도 구축한다. 센터 중심으로 파워반도체 연구개발(R&D) 생산단지를 조성하는 한편 연관 기업, 유관 기관, 대학을 집적화해 산업 클러스터로 만든다는 계획이다. 이를 위해 센터 건립비 140억원을 부산시와 기장군이 전액 충당했다. 최종열 부산테크노파크 원장은 “센터 구축과 함께 산업부 지원 831억원 규모의 파워반도체 상용화 사업을 오는 2023년까지 추진한다”면서 “조만간 부산 기장군은 파워반도체 세계 메카로 자리매김할 것”이라 말했다.

글로벌 시장조사업체 IHS마킷에 따르면 탄화규소(SiC) 웨이퍼 기반 전기차·통신용 파워반도체 시장은 올해 13억달러에서 2025년 52억달러로의 성장이 전망된다.

부산=임동식기자 dslim@etnews.com