[2015 인기상품]브랜드우수-에이아이코리아 `플라즈마`

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에이아이코리아(대표 안진호)는 동종 설비보다 질소가스 사용량을 70% 감축한 대기압 플라즈마 발생장비 ‘다이하드(DieHard) 350’으로 브랜드 인지도가 높다. 질소가스 사용량을 크게 줄인다. 플라즈마 설비 250대 기준으로 연간 100억원을 줄일 수 있는 제품이다.

플라즈마 설비는 반도체·디스플레이 공정에서 주로 사용한다.

[2015 인기상품]브랜드우수-에이아이코리아 `플라즈마`

플라즈마 발생 장비는 공정 과정에 오염물질이 유입되지 않도록 해 불량률을 줄여준다. 수율을 높이는데 필수적이다. 에이아이코리아 제품은 진공이 아닌 대기 중에서 플라즈마를 만들어 제품 표면 유기세정과 밀착력(접착력)을 높여 공정 신뢰도를 높인다.

대기압 플라즈마 장비는 액정표시장치(LCD) 패널 유리 기판 사이에 활성화된 라디칼(radical)을 방출해 기판 표면에 묻은 오염 물질을 제거한다. LCD 세정, 터치패널스크린(TSP) 표면 유기물 제거에 사용한다.

에이아이코리아는 지난 15년간 정체된 대기압 플라즈마 기술을 한 단계 발전시킨 것으로 평가받는다. 질소 가스 사용량을 획기적으로 줄인 것은 물론이고 대기압 플라즈마를 사용할 때 발생하는 오존 가스량을 기존 10~100PPM 수준에서 0.1PPM 수준으로 감축했다. 오존 발생량을 줄이면 작업 환경을 안전하게 개선할 수 있고 다른 설비가 산화하거나 부식되는 속도를 늦출 수 있다.

제품에 영향을 미치는 전극 발열도 기존 절반 수준으로 낮췄다. 발열 문제 때문에 플라즈마를 적용하지 못한 분야에도 확대 적용할 수 있게 됐다.

소비전력은 40% 수준으로 줄여 전체 운영비용을 줄이는데 기여할 수 있다. 제품 무게와 크기도 줄여 작업장 공간 문제와 운영비 절감 효과를 누릴 수 있다.

에이아이코리아는 내년 이후 투자가 예상되는 10세대 LCD 설비용 제품 개발을 마쳤다. 새로운 디스플레이 공정에 적용될 수 있도록 국내 대기업과 테스트를 진행 중이다.

새로운 수요가 증가할 것에 대비해 제품 생산을 확대할 수 있도록 신축 공장도 건설하고 있다. LCD, 터치패널 외에 반도체, 자동차, 이차전지 등에도 적용할 수 있어 향후 수요가 더 커질 것으로 기대했다.

중국과 동남아에서 설비 투자가 활발한 만큼 해외 마케팅과 영업을 적극 진행할 계획이다.

배옥진기자 withok@etnews.com