박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD) 장비업체인 어플라이드 고마쓰 테크놀로지(AKT) 한국지사(지사장 박하철)는 6백×7백20㎜ 규격의 유리기판에 TFT 구조를 형성시킬수 있는 3.5세대 제조장비인 「AKT-4300」을 발표했다.
「AKT-4300」은 5백50×6백50㎜ 규격의 유리기판을 사용, 장당 12.1인치 패널 6장을 생산할 수 있는 기존 3세대 장비에 비해 13.3인치 이상 대면적 제품의 생산성이 30∼1백% 우수해 향후 큰 시장을 형성할 것으로 기대되는 모니터용 TFT LCD 생산에 적합한 것으로 평가받고 있다.
3세대 장비는 유리기판 1장당 13.3인치는 4장, 17인치는 2장, 21인치는 1장 밖에 만들 수 없는 데 비해 AKT-4300은 13.3인치 패널은 6장, 17인치는 4장, 21인치는 2장을 각각 생산할 수 있다.
이 제품은 유리기판 위에 TFT를 형성시키기 위해 필요한 PECVD, 플라즈마 에칭, PVD 등 3가지 장비로 구성돼 있으며 AKT가 자랑하는 매엽식 및 다중체임버 아키텍처를 채용, 생산성이 높고 유지비용은 낮은 장점이 있다. 특히 AKT-4300은 현재 개발이 추진중인 1천×1천㎜ 유리기판을 사용하는 4세대 장비에 비해 수율과 안정성이 뛰어나고 현재 가장 큰 시장을 형성하고 있는 12.1인치 패널에서부터 조만간 수요가 급증할 것으로 기대되는 13.3인치 이상 대면적 패널 제작에도 효율적이라고 회사측은 밝혔다.
3세대와 4세대의 중간단계인 이 장비는 삼성전자가 최초로 천안공장에 도입키로 결정했으며 샤프, 후지쯔 등 일본 업체들도 도입을 신중히 검토중인 것으로 알려졌다.
AKT는 지난 93년 9월 미국의 어플라이드머티리얼스와 일본의 고마쓰쯔가 50:50 합작설립한 회사로 한국지사는 94년 3월 설립돼 현재 64명의 인원을 두고 장비판매 및 서비스업무를 수행하고 있다.
<유성호 기자>