반도체 제조용 화학증착(CVD) 공정장비 제조업체인 주성엔지니어링(대표 황철주 http://www.jseng.com)은 자체개발한 8인치(200㎜) 웨이퍼용 저압(LP) CVD장비인 「유레카 2000」을 대만 반도체 제조업체의 양산라인에 공급한다고 1일 밝혔다.
이 회사는 350만달러 상당의 장비를 연말께 수출할 예정이며 추가공급 협의도 진행중이라고 설명했다.
이 회사가 이번에 수출할 장비는 반도체 제조 앞공정중 실리콘 기판에 절연체나 전도체 등의 일정 막을 입히는 정밀 증착장치다.
주성엔지니어링은 지난달 대만의 한 반도체 제조업체에 국산장비로는 처음으로 차세대 12인치(300㎜)용 저압 화학증착 장비(모델명 유레카 3000)를 공급하는 계약을 체결한 데 이어 이번 8인치 웨이퍼용 장비도 수주해 현지 CVD장비 시장 공략을 한층 강화할 계획이다.
황철주 사장은 『대만의 반도체 제조업체들이 올해말부터 D램 생산 비중을 높여갈 계획이어서 LP CVD장비 수요가 늘어날 것』이라며 『초미세회로 공정에 쓰이는 반구형 결정실리콘(HSG)방식의 증착 등 커패시터 관련 공정장비 분야에서 50%의 세계 시장 점유율을 유지해나갈 계획』이라고 말했다.
<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>