세라믹 소재를 이용한 반도체 디스플레이용 박막 공정 개발에 대한 관심이 높아지고 있다.
24일 일본 나고야에서 개막된 한·일 국제 세라믹 세미나에서는 고성능 반도체의 개발을 위한 화합물반도체 박막 형성에 관한 연구들이 잇달아 발표되는 등 박막과 필름 등을 통해 고기능성을 부여하는 기술에 대한 높은 관심을 보였다.
특히 광대역화합물 반도체의 제작을 위해 산화아연(ZnO) 등 세라믹 소재의 에피택시 박막 성장, 나노구조물 형성 및 관련 전기적 특성 등에 관한 연구가 주목을 받았다. 또 박막 기술 압전소자나 가스 센서, 고유전 메모리 반도체 제작에 적용하는 기술 개발도 시급하다고 지적됐다.
반도체 공정의 정밀화 고기능화의 요구가 커짐에 따라 박막 공정을 이용해 다양한 기능을 부여하려는 움직임이 더욱 커질 것으로 참석자들은 입을 모았다.
나고야공업대학 재료공학과의 노가미 마사유키 교수는 “ZnO 박막의 결정성과 방향성을 향상시켜 안정적이고 효율이 높은 새로운 청색 발광 소자를 개발하려는 기술 등 다양한 노력 등이 이루어지고 있다”며 “세라믹 소재를 전자 분야에 적용하려는 노력이 계속될 것”이라고 말했다.
에너지 및 환경 문제 해결에 세라믹 소재를 적용하려는 노력도 활발히 진행되고 있다. 친환경 에너지원으로 주목받고 있는 연료전지의 경우, 열적 안정성이 높은 지르코니아 세라믹 소재를 전해질로 사용하는 기술 등이 소개됐다. 각종 공정에서 발생하는 부산물 재활용 및 유해물질 저감을 위한 필터, 멤브레인 기술 등도 주목받았다.
전병식 한국세라믹총협회 회장은 “전자·바이오·에너지 등의 분야에 세라믹은 필수 소재”라며 “이 분야에서 한·일 양국간 지속적 협력이 필요하다”고 말했다.
한편, 한·일 국제 세라믹 세미나는 한·일 양국 세라믹계의 산학연 협력과 신기술 교류, 네트워크 구축 등을 위해 한·일 양국에서 매년 번갈아 개최되며 올해로 22회째를 맞았다.
나고야(일본)=한세희기자@전자신문, hahn@