반도체 후공정 전문 업체 하나마이크론의 자회사인 하나실리콘(대표 최창호)은 국내 최초로 480mm 단결정 실리콘잉곳을 개발했다고 25일 밝혔다.
이 회사는 지난 2008년부터 지식경제부의 국책과제인 ‘드라이에처(Dry Etcher)용 480mm 단결정 실리콘 부품소재 기술 개발’사업을 통해 삼성전자와 공동으로 480mm 실리콘 잉곳을 개발해왔다. 단결정 실리콘 잉곳은 폴리실리콘을 고순도의 단결정 실리콘으로 변환 시킨 뒤 일정한 크기로 성장시켜 만들게 된다. 이 제품은 18인치(450mm) 실리콘 웨이퍼를 만드는 데 사용된다.
최창호 대표는 “잉곳 성장 핵심 부품인 폴리실리콘 용융로(Hot Zone) 설계 및 성장요소 최적화 기술을 독자적으로 개발했다”며 “차세대 웨이퍼 시장에서도 주도권을 잡아 나갈 것”이라고 말했다.
국제반도체기술로드맵(ITRS)에 따르면 내년부터 18인치 웨이퍼를 이용한 반도체 양산이 시작될 것으로 전망된다.
오은지기자 onz@etnews.co.kr