인피테크, 세계 첫 UV LED 광원 개발 도전장

글자 작게 글자 크게 인쇄하기

인피테크가 또 한 번 ‘세계 처음’에 도전장을 내밀었다.

반도체 웨이퍼 주변노광장치에 이어 세계 처음으로 디스플레이 스테퍼용 자외선(UV) LED 광원 개발에도 나선다. 이 계획이 성공하면 국내 디스플레이 생산 업체들은 연간 1000억원 이상 경비를 절감할 수 있다. 외산 일색인 고압 수은램프를 대체할 수 있다는 점에서 기술적 의미도 크다.

인피테크 연구원이 UV LED광원 주변노광장치의 노광 성능을 테스트하고 있다.
<인피테크 연구원이 UV LED광원 주변노광장치의 노광 성능을 테스트하고 있다.>

인피테크(대표 홍진표)는 포토 공정 노광장비인 디스플레이 스테퍼용 UV LED 광원장치 국산화에 나섰다고 21일 밝혔다.

반도체·디스플레이·PCB용 전문 장비업체인 회사는 반도체 웨이퍼 주변노광장치용 UV LED를 세계 처음으로 개발, 대기업 양산 라인에 적용해 주목 받은 바 있다.

인피테크가 개발에 나선 스테퍼는 OLED와 TFT LCD 등 회로 공정이 필요한 제조 라인에서 포토마스크에 자외선을 쐬어 글라스 위에 회로를 그리는(패턴) 디스플레이 핵심 장비다.

현재 디스플레이 스테퍼 램프(광원)로 12㎾ 고압 수은 램프가 다수 사용된다. 인피테크는 이를 하나의 UV LED 램프로 교체할 생각이다. 수은 램프는 매달 새로 교체해야 하고 소비 전력도 큰 단점이 있지만 UV LED 램프는 최소 2년간 사용할 수 있는데다 소비 전력도 훨씬 적다.

홍 사장은 “200대의 스테퍼를 사용하는 디스플레이 생산업체가 수은 램프 대신 UV LED를 사용하면 연간 1000억원 이상 비용을 절약할 수 있다”고 설명했다.

UV LED는 수은 램프와 달리 중금속이 없어 친환경적이다. 예열시간 없이 점등 후 즉시 사용할 수 있는 장점도 있다.

홍 사장은 “세계 처음으로 디스플레이 스테퍼에 UV LED 광원을 적용하는 우리 방안이 산업통상자원부와 한국산업기술평가관리원이 주관하는 투자자연계형 기술개발사업에 지난 9월 선정됐다”며 “중소기업으로서 쉽지 않은 과제지만 3년 안에 성공해 보이겠다”고 밝혔다.

2007년 3월 세워진 회사는 자외선 LED를 이용한 웨이퍼 주변노광장치를 대기업 양산라인에 처음으로 적용하는 데 성공했다. 이어 2009년에는 8인치 반도체 웨이퍼용 주변 노광 유닛을, 2012년에는 12인치 반도체 웨이퍼 주변 노광 유닛을 각각 개발했다.

디스플레이용 4.5세대 글라스 주변 노광 유닛도 2012년 공동 개발하는 성과를 거뒀다. 올해는 6세대 디스플레이용 글라스 주변 노광 유닛을 독자적으로 개발해 선보였다.

이런 기술 진보에 바탕을 두고 인피테크는 오는 2016년까지 디스플레이 스테퍼용 UV LED 광원장치도 국산화할 계획이다.

홍 사장은 “본딩·살균·세정 등 다양한 분야 LED 광원장치를 잇달아 개발해 내놓을 계획”이라며 “반도체, 디스플레이, PCB용 LED 광원 분야 글로벌 강소기업으로 성장하겠다”고 강조했다.

청주=

방은주기자 ejbang@etnews.com