[미래기업포커스]에스엠지, 필름형 히터·온도센서로 세계 반·디시장 정조준

에스엠지가 개발한 캡톤필름 플렉시블 히터 (사진=에스엠지)

에스엠지(대표 방서연)가 최근 필름형 히터와 필름형 온도센서를 개발, 국내 디스플레이·반도체 업체에 공급했다. 중국 시장 진출도 노린다.

에스엠지는 지난해 두께 0.4㎜ 이내로 얇은 필름형 에폭시 필름히터, 캡톤필름히터, 필름형 온도센서 등을 개발했다. 필름형 제품이 적용된 장비는 삼성디스플레이와 LG디스플레이의 6세대 공정에 모두 공급됐다.

에스엠지 필름형 히터는 400~500도 고온 공정이 필요한 장비에 사용한다. 챔버에 세라믹을 올리고 세라믹에 필름형 히터를 부착하면 히터가 세라믹을 달구면서 챔버가 고온을 일정하게 유지한다. 고온 공정을 24시간 유지해야 하는데 필름형 히터가 온도를 정밀하게 제어한다. 필름형 히터와 온도센서는 반도체 공정에서 웨이퍼 온도를 제어하는 역할도 한다.

디스플레이 장비 경우 반도체 웨이퍼와 달리 가로·세로 길이가 2m가 넘는 대면적이다. 10.5세대는 3m가 넘을 정도로 면적이 크다. 전체 면적에서 온도가 3도 정도만 달라져도 품질에 이상이 생긴다. 면적이 넓다 보니 히터와 세라믹 모두 기존과 다른 재질을 적용하는 게 앞으로의 숙제다.

제품은 6세대 장비에 양산 적용됐다. 0.15%에서 최고 0.0015%까지 온도를 제어할 수 있다. 이 분야에서 세계 최고 정밀도를 구현한다는 평가를 받고 있다.

1990년 성실전자로 출발한 에스엠지는 온도센서·히터·저항기 관련 제품을 생산하면서 현대중공업, 두산중공업, 효성, 한화시스템 등 국내외 산업용 장비 기업을 고객사로 확보했다.

최근 일본, 중국 시장 진출도 준비하고 있다. 국내 장비 기업은 물론 해외 장비 기업과 협업 가능성을 살피고 있다. 일본 도쿄일렉트론과 경쟁하기 위해 국내외 여러 장비 기업과 협업하면서 안정된 성능 구현에 몰두하고 있다.

에스엠지는 10일 “국내외 장비 기업이 중국 사업을 확대하는 만큼 해외 디스플레이·반도체 시장에서 국산 기술력을 알려 나가겠다”고 말했다.

표. 에스엠지 회사 개요

배옥진 디스플레이 전문기자 withok@etnews.com