24일 열린 '제12회 반도체의 날' 기념식에서 소재·부품·장비(소부장) 분야에서 두각을 나타낸 정부 포상자들이 눈길을 끌었다. 일본의 수출규제 조치 이후 국내 소부장 기술 경쟁력 강화가 화두로 떠오른 가운데 이들의 성과와 향후 행보에 관심이 쏠렸다.
석동수 메카로 이사는 반도체 업계에서 주목받는 첨단 증착 기술인 원자층증착(ALD) 공법에 쓰이는 필수 소재 '프리커서' 양산에 크게 기여한 공로로 산업통상자원부 장관 표창을 받았다.
메카로는 지난 2015년 국내에서 처음으로 프리커서 특허 기술로 'GM40' 양산에 성공했다. 이 제품은 D램 공정용으로 활용되며, SK하이닉스 등 반도체 소자업체에 공급된다. 메카로가 2015년 처음 양산한 제품은 수율이 낮고 생산 단가가 높아 가격 경쟁력 면에서 우위를 가지지 못했다.
석 이사는 문제를 해결하기 위해 단위 공정부터 세밀하게 접근하고 관리했다. 공정마다 일어나는 문제를 모든 직원이 공유할 수 있는 환경을 만들었다. 그 결과 처음 양산을 할 때보다 수율은 1.5배가량 개선됐고 가격은 절반이나 절감할 수 있었다.
석 이사는 “구성원 모두가 생산 과정을 지속적으로 공유하며 개선활동이 이루어져야 하는데 이런 부분이 잘 모여 성과를 창출한 것 같다”며 웃었다.
앞으로 국내 소재 생태계 확대 방안에 대해서는 “대기업과 중소기업 간 협력이 더욱 늘어난다면 더할 나위 없겠지만 생산에 집중해야 하는 대기업의 지원에는 한계가 있을 수밖에 없다”며 “기업 간 가교 역할을 해줄 수 있는 테스트베드 구축이 신속하게 이뤄졌으면 좋겠다”고 전했다.
부품 분야에서 산업부 장관 표창을 받은 이천재 테크원 대표는 20년째 반도체 장비에 들어가는 모터를 제어하는 컨트롤러를 생산하는 데 기여했다. 90년대 후반부터 지금까지 발전시켜온 국산 모터 컨트롤러 기술로 업계에 적잖은 영향을 미치고 있다.
이 대표는 “타사는 모터 컨트롤러 개발과 설치에만 집중할 수 있지만 다양한 종류의 모터를 판매했던 테크원은 제어 프로그램뿐 아니라 토탈 솔루션을 제공할 수 있는 것이 장점”이라고 전했다.
이 대표는 주력인 PC 기반 컨트롤러 제품군을 넘어 PLC(프로그래머블 로직 컨트롤러) 방식 제품군을 늘려가는 것이 목표다. PLC 제품군은 활용 범위가 매우 넓고 지멘스 등 대기업이 시장을 주도하고 있다.
이 대표는 “대형 업체가 구현하기 힘든 '고객 맞춤형' PLC 제품으로 틈새시장을 공략할 것”이라고 밝혔다.
장비 부문에서는 이준우 오로스테크놀로지 대표가 반도체 오버레이 장비로 국무총리 표창을 수상했다. 이준우 대표가 개발하는 이 장비는 반도체 노광 공정에서 정확한 공정 위치를 알려주는 제품으로 세계에서 손꼽히는 장비와 비슷한 수준으로 개발해 업계 주목을 받았다.
강해령기자 kang@etnews.com
