한양대 'EUV 노광기술 생태계' 산파 역할 자처

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안진호 한양대학교 신소재공학부 교수가 27일 서울 성동구 한양대학교에서 열린 국내 EUV 노광기술 생태계 조성을 위한 산학협력포럼에서 국내 EUV R&D 현황을 설명하고 있다. <사진=한양대학교>
<안진호 한양대학교 신소재공학부 교수가 27일 서울 성동구 한양대학교에서 열린 국내 EUV 노광기술 생태계 조성을 위한 산학협력포럼에서 국내 EUV R&D 현황을 설명하고 있다. <사진=한양대학교>>

한양대가 국내 극자외선(EUV) 노광 기술 생태계 조성을 위한 산학협력포럼을 개최했다. 이날 행사에서 발족한 'EUV-IUCC(산학협력센터)'는 국내 EUV 기술이 발전할 수 있도록 다양한 기업을 연계하는 역할을 할 전망이다.

27일 서울 한양대서 열린 이번 포럼에는 삼성전자, 네덜란드 노광기업 ASML, 원익IPS, 솔브레인, SK실트론, 메카로, 동우화인켐, 도쿄일렉트론 등 국내외 반도체 업체 20여곳과 대학, 연구소 관계자 등 100여명이 참석했다.

이날 행사는 새롭게 발족한 EUV-IUCC를 소개하는 자리이기도 했다. EUV-IUCC는 한양대 산학협력 프로그램 IUCC 일환으로 국내 EUV 연구자들이 자발적으로 만든 모임이다. 안진호 한양대 신소재공학부 교수가 센터장을 맡았다.

포럼에서는 국내 EUV 기술 준비 상황에 대한 강연도 마련됐다.

조한구 ASML 부사장이 EUV 노광기술 로드맵을 발표했고 안진호 교수와 이상설 포스텍 교수가 각각 한국 EUV 연구개발(R&D) 현황, 포항가속기 EUV R&D 및 인프라 구축 계획 등을 전했다.

이어 EUV 노광기술 산업생태계 조성을 주제로 한 토론도 진행됐다. 삼성전자, 에스앤에스텍, 이솔, FST 등 EUV 관련 기술 및 소재·부품·장비를 개발하는 관계자는 토론에서 새로운 사업을 계획 중인 기업과 경험을 공유했다.

토론 참가자들은 초기 EUV 산업 당시 미국·일본·유럽 등 선진국에서 해왔던 정부 지원과 기초 R&D 인프라 구축, 기업 간 상호협력이 국내 EUV 생태계 조성을 위해 절실하다고 입을 모았다.

강해령기자 kang@etnews.com