원익IPS(대표 이현덕)는 지난해 원익테라세미콘과 합병 후 반도체·디스플레이 장비 제품군을 고루 갖추게 됐다. 양사 합병은 연구개발 역량을 한 단계 높이고 제품을 다각화해 세계 종합 장비기업으로 도약하는 발판을 마련하기 위한 일환이다. 보유 기술군 확대, 연구개발 인프라와 역량 강화, 해외 영업과 고객 대응 보강 등의 효과를 노렸다.
회사는 세미콘 코리아 2020에서 초미세 공정을 실현하는 반도체 장비와 디스플레이용 열처리 장비 등 새해 시장을 공략할 주력 제품을 다수 선보일 예정이다.
주력 반도체 장비로 '제미니(GEMINI) 화학기상증착(CVD) 시스템'을 선보인다. 제미니 CVD 시스템은 플라즈마 화학기상증착(PE-CVD) 기술을 사용해 절연 필름(dielectric film)을 생산한다. 원자층증착(ALD)을 사용한 것과 같은 높은 균일도를 제공하는 것이 강점이다.
제미니 CVD 시스템으로 형성한 아몰퍼스실리콘(a-Si) 필름은 20나노미터(nm) 이하의 향상된 D램 공정과 로직 디바이스를 위한 하드마스크의 더블패터닝(DPT)·쿼드패터닝(QPT) 공정에 널리 사용되고 있다.
원익IPS 측은 “제미니를 이용한 절연 필름은 세계 최고 수준의 균일성을 구현하는 것으로 잘 알려져 있다”며 “생산성이 뛰어나고 고장률이 적어 투자·관리비용을 크게 절감할 수 있다”고 설명했다.
확산(Diffusion) 공정 장비도 선보인다. 다양한 온도 영역대 열처리 공정과 증착공정에서 수 나노미터급 첨단 반도체 양산 라인에서 검증된 기술을 확보했다. 배치 당 처리 능력을 극대화해 장비 투자비용을 절감할 수 있다.
유기발광다이오드(OLED) 핵심 공정용 디스플레이 장비 기술력도 국내외에 널리 알린다.
원익IPS는 2012년 중소형 OLED용 건식 식각장비 시장에 진입한 이후 점유율을 확대하고 있다. 중국 패널사에도 공급해 고객사를 확대하는 성과도 거뒀다.
최근에는 건식 식각장비 외에 OLED 핵심공정인 박막봉지(TFE)용 PECVD와 퀀텀닷(QD)디스플레이용 핵심 장비도 개발하면서 양산설비를 제조하는데 속도를 내고 있다.
디스플레이 열처리 공정에 특화한 장비도 개발해 양산하고 있다. 저온부터 고온까지 폭 넓은 온도대역을 구현해 다양한 요구 공정 조건에 최적화했다. 회사 고유의 패스트 램프 업·다운 기능을 적용해 더 높은 생산성을 실현했다고 설명했다.
경화(Curing) 공정에서 발생하는 부산물을 완벽하게 배출할 수 있도록 챔버 내 부산물 응축을 제어·방지하는 특화된 장비도 갖췄다. 미세 온도 변화에 큰 영향을 받는 산화물 열처리에 특화된 장비도 보유했다.
원익IPS는 “반도체·디스플레이 장비 제조기술을 선도하는 국내 최대 종합 장비기업으로서 끊임없는 연구개발로 원천기술을 확보하고 제품군 다양화, 고객사 다각화를 실현해 세계 10대 장비기업으로 도약하겠다”고 말했다.
배옥진기자 withok@etnews.com
