[미리보는 세미콘 코리아 2020]<16>기가레인 "20나노 임프린터 개발...마이크로 LED 공략"

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기가레인(대표 장일준)은 2월 5일부터 7일까지 코엑스에서 열리는 '세미콘코리아 2020'에서 새롭게 개발한 임프린터(Imprinter) 장비 'CITUS 6000R'을 선보인다.

임프린터는 웨이퍼 기판 위에 나노스케일의 패턴을 형성할 수 있는 장비를 뜻한다. 기가레인이 개발을 마친 CITUS 6000R은 최소 회로 선폭 20나노미터(㎚) 미세 공정까지 적용을 할 수 있다.

기가레인 임프린터 CITUS 6000R
<기가레인 임프린터 CITUS 6000R>

기가레인의 임프린팅 기술은 먼저 기판(Substrate)에 임프린트용 레진(Resin)을 도포한다. 이후 패턴이 형성된 몰드를 기판에 가압 접촉해 레진을 자외선(UV)으로 경화시킨다. 그 뒤 기판과 몰드를 분리하는 방식을 사용한다.

기가레인 관계자는 “다수 해외 업체들이 이와 유사한 임프린터 성능을 구현한 바 있지만 양산 적용에는 많은 어려움을 겪어 왔다”면서 “이는 양산에서 필수인 품질 균일 안정성 확보에 있어서 기술적 난도를 넘지 못했기 때문인 데, 기가레인은 이를 극복하고 업계 최고 성능을 구현했다”고 전했다.

[미리보는 세미콘 코리아 2020]<16>기가레인 "20나노 임프린터 개발...마이크로 LED 공략"

기가레인은 진공성형 및 몰드처리 기술을 자체 개발했다. 이를 통해 양산성을 확보할 수 있었다고 설명했다.

기가레인은 신형 임프린터 장비가 차세대 디스플레이로 부상 중인 마이크로 LED 분야에 적합할 것으로 내다보고 있다.

마이크로 LED 디스플레이는 수천만개 초소형 LED를 사용해 대량 생산이 필수인 만큼 마이크로 LED 양산과 경제성 확보에 임프린터 장비가 더 효과적일 것으로 기대하고 있다.

회사 관계자는 “현재 신형 장비를 활용해 고객에 매월 수천장 규모 4인치 이상 웨이퍼 공정 서비스를 제공하고 있다”며 “장비 양산성과 제품 신뢰성을 인정받고 있다”고 전했다.

기가레인은 LED PSS 식각장비 시장 60% 이상을 점유하고 있다. 이 분야 업계 1위다. 최근 전력반도체, RF반도체, 멤스(MEMS) 영역으로 사업을 확대하고 있다.

기가레인은 대형기판을 이용한 '롤투피(Roll to plate)' 임프린터 장비 개발도 완료 단계에 있다. 이 장비는 가시광 편광자(WGP), 마이크로렌즈 어레이 등 다양한 응용 제품에 적용이 가능할 것으로 예상된다.

윤건일기자 benyun@etnews.com