엑시머 레이저, 작년 세계 LLO 시장서 '판정승'

글자 작게 글자 크게 인쇄하기
코히런트 UVB1000 (사진=코히런트)
<코히런트 UVB1000 (사진=코히런트)>

지난해 중소형 플렉시블 유기발광다이오드(OLED)용 '레이저리프트오프(LLO)' 시장에서 엑시머 레이저가 DPSS(다이오드펌핑고체) 레이저를 제쳤다. 국내 대표 디스플레이 제조사가 엑시머 방식에서 DPSS 방식으로 무게중심을 이동하면서 중국 패널사들도 DPSS 도입을 검토했으나 안정성 등의 이유로 엑시머 방식을 다시 채택한 것으로 풀이된다.

27일 업계에 따르면 엑시머 레이저를 공급하는 코히런트는 지난해 국내 LLO 장비 제조사들과 협업해 중국 패널사가 발주한 6세대 하프컷용 LLO 장비 전량을 수주했다.

LLO는 플렉시블 OLED 디스플레이를 생산하는 핵심 공정 중 하나다. 기판으로 사용하는 폴리이미드(PI) 필름을 캐리어 글라스에서 떼어낼 때 LLO 장비를 사용한다. 레이저를 조사해 캐리어 글라스와 PI 필름을 분리하는 과정에서 필름 특성이 변하거나 손상되지 않는 것이 중요하다.

한국 시장에서 엑시머 방식 LLO 장비를 사용하면서 플렉시블 OLED 디스플레이 시장이 열렸고 이후 일부 생산에 DPSS 레이저가 사용됐다. 이에 따라 중국 패널사들도 DPSS 방식을 고려할 때 엑시머 레이저와 DPSS 레이저를 두고 저울질했다. 엑시머 레이저를 공급하는 코히런트는 원가는 낮추고 생산성은 높인 새로운 방식을 장비 제조사들과 선보이며 중국 시장에서 선전했다.

코히런트는 우선 캐리어 글라스에서 필름을 제거할 때 필요한 순간에만 레이저 펄스를 생산하는 '펄스 온 디멘드(Pulse on Demand)' 기술을 새롭게 적용했다. 필요한 순간에만 레이저 펄스를 공급받으므로 레이저 펄스 소모량을 절반으로 줄여 소모품 비용을 획기적으로 줄이고 수명을 늘릴 수 있다.

LLO 공정에 특화된 모델 'UV-블레이드(UV-Blade)'도 선보였다. 과거에는 ELA(레이저 어닐링) 공정용 제품과 혼용했으나 비용 절감을 위해 LLO 전용 모델인 UV-블레이드를 도입했다.

UV-블레이드는 LLO공정에 최적화됐다. 적용 분야에 맞게 최대 1000㎜까지 다양한 라인 빔을 구성할 수 있다.

ELA 유지보수 일정을 LLO 툴과 조정해 레이저 튜브 유효 수명을 연장하는 개념도 제공했다. 플렉시블 OLED 생산 시 ELA와 LLO 공정이 반드시 필요한데 이 개념을 적용해 패널 제조사가 운영비를 더욱 절감하도록 했다.

코히런트 관계자는 “일각에서 DPSS 레이저가 엑시머 레이저보다 저렴할 것으로 예상됐지만 펄스 온 디멘드를 적용한 새로운 UV-블레이드와 가격 최적화 기능을 갖춘 LLO 공정 덕분에 코히런트 LLO 설비 운영비가 경쟁 레이저 대비 20%에서 50%까지 저렴할 것”이라고 설명했다.

또 “최근 떠오르는 투명 디스플레이 등에 필수인 투명 PI에는 엑시머 레이저만 적용할 수 있다는 결과도 나오고 있다”며 “향후 몇 년간 엑시머 레이저는 여전히 최첨단 LLO 시스템이 될 것”이라고 강조했다.

배옥진기자 withok@etnews.com