[미리보는 세미콘 코리아 2020]<18>한국브룩스오토메이션

한국브룩스오토메이션의 제조 시설 전경. <사진=한국브룩스오토메이션>
한국브룩스오토메이션의 제조 시설 전경. <사진=한국브룩스오토메이션>

반도체 자동화 전문업체 한국브룩스오토메이션이 국내 공장생산 능력을 늘린다. 첨단 장비 제조 국산화율을 높이면서 관련 인력 채용과 기술 협력에도 박차를 가한다는 전략이다. 이번 '세미콘 코리아 2020'에서는 최근 반도체 장비 트렌드에 맞춘 새로운 기술을 소개할 예정이다.

반도체 공정은 동그란 웨이퍼 위에 얇은 막을 쌓고(증착), 찍고(노광), 깎고(식각), 씻는(세정) 과정의 연속이다. 이 과정이 수백회 일어나는 반도체 팹 내에는 수많은 장비가 필요하다.

쉼 없이 가동돼야 하는 장비 특성상, 기기 내에는 웨이퍼 운송 자동화 기술이 집약돼 있다. 구체적으로 이송용 로봇은 웨이퍼가 든 박스인 풉(FOUP)을 각 장비로 운송한다. 풉의 문은 장비 가장 앞에 위치한 로드 포트(Load Port)라는 장비가 연다.

풉 속 웨이퍼는 커다란 직육면체 모양의 EFEM(장비 프론트 엔드 모듈) 장치, 다각형 모양 이송 모듈을 거쳐 본격적인 공정이 진행되는 챔버 안으로 들어간다.

이 EFEM과 이송 모듈 속에는 웨이퍼가 최소한의 오염으로 정확한 위치에 도달할 수 있도록 하는 로봇이 자리하고 있다.

한국브룩스오토메이션은 로드 포트, EFEM, 이송 모듈 등 자동화 이송 시스템을 국내에서 제조한다. 이 시스템은 국내와 글로벌 관련 시장에서 압도적 점유율을 차지한다.

올해 한국브룩스오토메이션은 자체 시스템 생산 능력을 크게 늘릴 계획이다. 기존 용인 공장에서는 월간 30개 자동화 시스템과 110개 로드 포트를 만들 수 있었다. 그러나 올해는 차세대 EFEM 양산과 함께 월 45개 시스템과 180개 로드포트를 생산하도록 공간을 개조한다.

또 고객사의 장비 유지보수를 위한 공간도 넓혀 고객사 요구에 신속하게 대응한다는 방침이다. 생산 규모 확대로 기존 인력 10% 이상을 보강한다는 계획도 있다.

더욱 주목할 점은 한국브룩스오토메이션은 첨단 설비 제조 대부분을 '국산화'했다는 점이다. 제조 과정의 75%를 국내 업체와 협력하거나 우리나라 인력으로 만들어내고 있다. 앞으로 국산화율을 85%까지 끌어올린다는 방침이다.

한재형 한국브룩스오토메이션 대표는 “국내 부품 업체와 협력한 사례를 미국 본사에도 소개하면서 협력사가 해외 진출을 하는 등 우리가 글로벌 시장과 국내를 잇는 '가교' 역할을 한다는 자부심이 있다”고 전했다.

한국브룩스오토메이션은 이번 세미콘코리아에서 새롭게 단장한 국내 제조 인프라를 소개한다.

새로 개발한 자동화·오염 방지 시스템도 함께 선보인다. 회사가 자신 있게 내세우는 제품은 매그나트란 립 옵티맥스(MagnaTran LEAP OPTIMAX)라는 진공 로봇이다.

최근 반도체 장비는 공정 효율을 위해 챔버 수가 늘어나면서 장비의 길이도 함께 늘어나는 추세다. 매그나트란 립 옵티맥스는 멀리 떨어진 챔버에도 웨이퍼를 정확한 위치에 이송할 수 있도록 돕는 로봇이다. 이밖에도 회사는 질소로 풉 내 오염을 막는 '비전 립 로드 포트 위드 N2 퍼지', 차세대 EFEM 장비 등을 전시할 예정이다.

한재형 대표는 “세계 시장에서 파운드리와 메모리 팹 설비 투자가 늘면서 장비 시장이 전반적으로 활기를 띌 것으로 예상된다”고 전했다.

강해령기자 kang@etnews.com