SKC, 日 의존도 90% '반도체용 블랭크마스크' 연내 양산

ArF·EUV 공정용 제품 공급 안정화 기대
정승일 산업부 차관 “소부장 집중 지원”

정승일 산업통상자원부 차관(왼쪽 첫 번째)은 20일 반도체 공정에 필수적으로 사용되는 블랭크마스크 등 소부장 국산화 성과점검을 위해 SKC의 블랭크마스크 천안공장을 방문했다.
정승일 산업통상자원부 차관(왼쪽 첫 번째)은 20일 반도체 공정에 필수적으로 사용되는 블랭크마스크 등 소부장 국산화 성과점검을 위해 SKC의 블랭크마스크 천안공장을 방문했다.

SKC가 그동안 일본에 90% 이상 의존했던 반도체용 하이엔드급 '블랭크 마스크(Blank Mask)'를 연내 양산한다. 반도체 공정 핵심 소재인 블랭크 마스크의 국내 공급 안정성이 한층 개선될 것으로 기대된다.

산업통상자원부는 SKC가 현재 불화아르곤(ArF)용을 비롯한 하이엔드급 블랭크마스크 시제품을 국내 수요기업과 테스트 중이며, 하반기 본격 양산에 돌입한다고 20일 밝혔다.

대(對)일본 수입 상위 20대 핵심 소재·부품·장비(소부장)에 해당하는 블랭크 마스크는 반도체 웨이퍼에 회로 패턴을 새길 때 사용한다. 반응시키는 빛 파장에 따라 ArF, 불화크립톤(KrF), 극자외선(EUV)용으로 구분된다. 이 가운데 ArF와 EUV는 하이엔드급으로 일본 의존률이 90%를 웃돌고 있다.

SKC는 그동안 다양한 산업용 필름을 생산한 종합 소재 전문업체다. 지난 2018년부터 총 430억원을 투자해 작년 말 블랭크마스크 신규공장을 완공했다. 내년에는 이번 제품보다 첨단 제품을 양산하는 게 목표다. 회사는 일본 정부의 3대 수출규제 품목인 불화 폴리이미드에도 850억원을 투자, 작년말 완공된 신규공장에서 시제품을 생산 중이다.

이용선 SKC 부사장은 “신규 공장 완공에 필요한 환경 등 인·허가 신속처리, 수입장비 할당관세 적용과 정부 연구개발(R&D) 등을 적기 지원해 준 정부에 감사하다”면서 “국내 기업들이 소부장 정책 추진동력을 유지할 수 있도록 정부의 관심과 지원이 필요하다”고 말했다.

정 차관은 “소재·부품·장비(소부장) 기술력 강화, 건강한 산업생태계 구축 등 확실한 변화를 위해 정부, 수요·공급기업 간 긴밀한 협력이 중요하다”면서 “조기성과 창출을 위해 소부장 100대 핵심 품목 상용화에 올해 2100억원 이상을 집중 지원할 계획”이라고 밝혔다.
정 차관은 “소재·부품·장비(소부장) 기술력 강화, 건강한 산업생태계 구축 등 확실한 변화를 위해 정부, 수요·공급기업 간 긴밀한 협력이 중요하다”면서 “조기성과 창출을 위해 소부장 100대 핵심 품목 상용화에 올해 2100억원 이상을 집중 지원할 계획”이라고 밝혔다.

정승일 산업부 차관은 이날 천안 SKC 블랭크마스크 공장을 방문해 시제품과 생산 현장을 둘러보고 SKC 성과에 감사와 격려를 전했다. 또 그동안 정부가 추진한 소부장 정책 성과를 소개하는 한편 가속화 계획을 밝혔다.

정부는 상위 20대 핵심 소부장 품목에 대해 내년 공급 안정성 확보를 목표로 국내생산 확대, 기술개발(2019년 추경 650억원, 2020년 1165억원), 수입국 다변화 등을 계획대로 추진 중이다. 일본의 수출규제 3개 품목은 공장 신증설, 외투기업 투자 등으로 연내 완전한 공급 안정화를 달성할 계획이다. 나머지 80대 품목에는 올해 1조2000억원 규모 R&D를 추진 중이며, 공급선 다변화로 기본적 공급안정성 확보를 노린다.

정 차관은 “소부장 기술력 강화, 건강한 산업 생태계 구축 등 확실한 변화를 위해 정부, 수요·공급기업 간 긴밀한 협력이 중요하다”면서 “조기 성과를 창출하기 위해 소부장 100대 핵심 품목의 상용화에 올해 2100억원 이상을 집중 지원하겠다”고 강조했다.

윤희석기자 pioneer@etnews.com