[SEDEX 2020] '반도체 코리아', 소부장 저력 과시했다

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국산화 넘어 세계무대 중심으로
수출규제 극복·생태계 구축 큰 역할
日 독점시장 뚫은 최신 제품군 공개
美·유럽 기술 선도기업과 어깨 나란히

# 27일 코엑스에서 개막한 '반도체대전(SEDEX) 2020'에는 국내 반도체 대기업 외에 생태계를 튼튼하게 뒷받침하는 국내외 소재·부품·장비(소부장) 기업들이 참가해 눈길을 끌었다. 올해 반도체대전은 지난해 일본 수출규제로 소부장 국산화 바람이 분 이후, 한층 견고해진 'K-반도체' 생태계를 엿볼 수 있는 전시회가 될 것으로 기대된다.

반도체 장비 업계에서는 국내외 반도체 업계에서 주목받고 있는 업체들이 새로운 시스템과 첨단 공정 기술을 선보였다.

국내 2위 반도체 장비업체 원익IPS는 업계에서 주목받는 원자층증착기법(ALD) 장비를 소개했다. 원익IPS는 낸드플래시, D램 제조에 필요한 핵심 전공정 장비를 국산화한 사례를 소개하며 눈길을 끌었다.

PSK는 식각 공정시 사용되는 하드마스크 찌꺼기를 벗겨내는 '하드마스크 스트립 장비'를 소개했다. PSK는 노광 공정 후 포토레지스트 찌꺼기를 제거하는 포토레지스트 드라이스트립 장비(애셔) 분야 세계 1위를 달리고 있는 기업이다. 드라이스트립 장비 외 제품군을 늘려가면서 탄탄한 국내 장비 생태계 구축에 큰 역할을 할 것으로 기대된다.

또 최근 삼성전자로부터 지분 투자를 받아 화제가 된 메모리 테스트 장비업체 와이아이케이, 화학기계연마(CMP) 장비와 소재를 공급하는 케이씨텍도 부스를 꾸려 관객들의 시선을 끌었다.

소재 분야에서는 동진쎄미켐, 대한광통신 등이 국산화 기술을 선보였다. 동진쎄미켐은 지난해 일본 정부가 극자외선(EUV)용 포토레지스트를 규제한 이후 가장 주목받은 국내 기업이다. 불화아르곤(KrF) 포토레지스트 생산 등으로 국내에서 가장 선도적인 포토레지스트 기술을 가지고 있는 회사다.

동진쎄미켐은 주력인 포토레지스트 분야 외에도 화학기계연마(CMP) 공정용 슬러리, 스핀온카본(SOC), 프리커서 등 회사가 보유한 다양한 제품군을 소개했다.

[SEDEX 2020] '반도체 코리아', 소부장 저력 과시했다

대한광통신은 반도체 노광 공정에 쓰이는 마스크 필수 소재 합성 쿼츠 국산화 내용을 이번 전시회에서 소개했다. 마스크는 노광 공정 시 빛이 웨이퍼에 닿기 전, 회로 모양을 머금을 수 있도록 돕는 소재다. 마스크를 제조하려면 합성 쿼츠 소재는 반드시 필요하다. 가공된 합성석영 소재 위에 다양한 제조 공정을 거쳐 마스크가 완성되고, 마스크 샵이라는 곳에서 회로 모양을 새긴다.

그간 마스크용 합성 쿼츠 분야는 신에츠, 아사히글라스 등 일본 기업들이 독점하던 시장이었다. 그러나 지난해 일본 수출 규제 이후 소재 국산화 이슈가 부각되자, 대한광통신도 연구개발에 탄력을 받아 양산을 위한 연구 개발이 한창이다.

대한광통신 관계자는 “이르면 내후년 마스크용 합석석영을 양산할 수 있을 것으로 보인다”고 설명했다.

부품 분야에서는 프리시스, RFPT 등 토종 장비용 부품 기업들이 국산화에 도전하는 사례를 소개했다.

프리시스 고진공밸브.
<프리시스 고진공밸브.>

프리시스는 반도체 장비에 활용되는 고진공 밸브를 생산하는 회사다. 프리시스는 웨이퍼가 챔버 안에 들어갔을 때 진공 상태를 유지할 수 있도록 웨이퍼 출입구를 꽉 막는 역할을 하는 밸브를 주력으로 생산한다.

챔버 속을 청소할 때 쓰이는 가스량을 조절하는 밸브는 글로벌 장비 기업에도 공급될 만큼 기술 경쟁력을 보유하고 있다. 프리시스 관계자는 “스위스 유력 밸브 기업인 VAT보다 제품군은 적지만, 보유하고 있는 제품은 VAT 못지 않은 경쟁력을 갖추고 있다”고 전했다.

RFPT는 미국 주요 기업들이 지배하고 있는 고주파수(RF) 관련 제품 생산에 열을 올리는 기업이다. RFPT는 반도체 장비에서 자동차 엔진 역할을 하는 RF 제너레이터, RF 매처를 토종 기술로 구현한다.

이미 후공정 장비 업체에 핵심 제품이 공급된 적은 있지만, 고난도 기술이 필요한 전공정 장비에 이 부품을 탑재하기 위해 연구에 매진하고 있다.

최근에는 국내 유력 장비 업체와 협업을 늘리면서 제너레이터 장비뿐 아니라 RF 센서, RF 블로킹 필터 등 다양한 관련 부품을 공급하고 있다.

이동헌 RFPT 대표는 “국내 주요 장비 업체에 고부가가치 기술을 공급할 준비에 한창”이라며 “국내에서 유일하게 반도체 장비용 RF 제품을 전문으로 하는 회사를 만드는 것이 목표”라고 전했다.

강해령기자 kang@etnews.com