SK하이닉스, 4.7조 규모 EUV 시스템 장기 계약...차세대 공정 준비

SK하이닉스 이천캠퍼스 전경 <사진=SK하이닉스>
SK하이닉스 이천캠퍼스 전경 <사진=SK하이닉스>

SK하이닉스가 5년 간 ASML이 독점 공급하는 극자외선(EUV) 노광 시스템 구매 장기 계약을 체결했다. 차세대 메모리 제조 핵심인 EUV 노광 공정 구현을 위해 안정적인 공급망을 확보하는 전략으로 해석된다.

24일 SK하이닉스는 향후 5년간 ASML에게 4조7500억원 규모 EUV 노광 시스템을 구매한다고 공시했다.

SK하이닉스는 이 시스템을 구매하는 목적에 대해 “차세대 공정 양산 대응을 위한 EUV 장비 확보”라고 밝혔다.

ASML EUV 노광장비 <사진=ASML>
ASML EUV 노광장비 <사진=ASML>

EUV 노광 장비는 13.5나노(㎚) 파장의 EUV 빛으로 회로 모양을 웨이퍼 위에 반복적으로 찍어내는 장비다.

네덜란드 장비 기업 ASML이 연간 40대 가량 독점 생산하는 이 장비는 대당 가격이 1500억원 이상을 훌쩍 넘어갈 정도로 고가다. 그러나 초미세 회로 양산을 위해 반드시 필요한 시스템이기 때문에 반도체 제조사 간 장비 확보 경쟁이 치열하다.

SK하이닉스는 이번 장기 계약으로 앞으로 10여대의 EUV 노광 장비를 안정적으로 확보할 수 있을 것으로 보인다. 계약금에는 ASML 장비 뿐만 아니라 유지보수, 설치 비용도 포함됐다.

올해 SK하이닉스는 이 시스템을 활용해 올해 하반기 10나노급 4세대(1a) D램 양산을 시작한다.

현재 정태우 SK하이닉스 부사장이 이끄는 EUV 태스크포스팀은 신규 팹인 이천 'M16' 공장에 이 장비와 기술을 도입하기 위한 작업에 한창인 것으로 알려졌다.

SK하이닉스 측은 이번 계약에 대해 “차세대 메모리 제조의 핵심이 될 EUV 기술을 양산에 성공적으로 적용하기 위해 이번 계약을 체결했다”고 밝혔다.

강해령기자 kang@etnews.com