파크시스템스는 대만 파운드리 업체와 글로벌 반도체 제조업체에 연이어 원자현미경을 공급했다고 밝혔다.
파크시스템 관계자는 “대만 T사 전공정 뿐 아니라 첨단 패키징 후공정에서도 자사 원자 현미경을 도입했다”면서 “그 외 S사·Y사·I사 등 글로벌 반도체 제조업체에서 원자 현미경 도입을 빠르게 추진 중”이라고 밝혔다.
원자현미경은 탐침을 통해 근접장에서 나노미터(nm) 수준의 3차원(3D) 형상을 계측하고 분석하는 장비다. 전기, 열 및 광 전도량, 저항, 자기, 마찰력, 성분, 광량, 파장 등을 나노 단위 이하로 파악할 수 있다.
파크시스템스는 원자현미경 원천기술을 보유한 나노계측전문 기업이다. 파크시스템 원자현미경 제조기술은 국가핵심기술로 지정돼 보호받고 있다. 제품 대부분은 해외 유수 연구소와 반도체 기업에 수출된다. 최근 공정 미세화가 가속화하면서 차세대 소자 개발과 공정 개선을 위한 원자 현미경 수요가 크게 늘었다.
파크시스템 관계자는 “올해 3분기 누적 수주액은 작년 연간수주액인 680억원을 이미 달성했다”면서 “4분기 수주액도 작년 동기대비 성장할 것으로 예상된다”고 밝혔다.
권동준기자 djkwon@etnews.com
