코셈, 시료 손상 없이 관찰 돕는 단면 시편 제작 장치 국산화 성공

시료장착 모듈(왼쪽) 및 단면 시편 제작 장치(CP-8000). 사진=코셈
<시료장착 모듈(왼쪽) 및 단면 시편 제작 장치(CP-8000). 사진=코셈>

주사전자현미경(SEM) 전문 코셈(대표 이준희)은 전자현미경(SEM)으로 관찰 시료의 단면을 정밀하게 가공할 수 있는 저손상 고속 단면 시편 제작 장치(CP-8000) 국산화에 성공했다고 29일 밝혔다.

과학기술정보통신부 및 산업통상자원부 공동사업인 나노융합2020사업 지원을 통해 개발한 CP-8000은 이차전지 셀과 같이 대기 중에 노출되면 습기와 반응하는 시료나 열에 약한 소재 등 단면을 손상 없이 가공해 SEM으로 관찰, 시료에 대한 정확한 정보를 얻을 수 있다.

시간당 700마이크로미터(㎛)로 식각할 수 있어 보급형 장치로서는 세계 최고 수준 속도를 갖고 있다. 열 손상이 적고 소재 제한이 크지 않아 반도체, 이차전지, 디스플레이, 고분자 복합소재 등 다양한 분야 활용이 가능하다. 또 특수지그를 사용해 비숙련자도 쉽게 시료를 장착할 수 있고 코셈이 보유한 '원터치 스마트 시료대' 특허기술을 적용해 작업 편리성도 더했다.

CP-8000으로 가공한 단면을 전자현미경으로 관찰한 모습. (왼쪽부터)분말 단면, 복합구조 금속필름 단면, 파이버 소재 단면. 사진=코셈
<CP-8000으로 가공한 단면을 전자현미경으로 관찰한 모습. (왼쪽부터)분말 단면, 복합구조 금속필름 단면, 파이버 소재 단면. 사진=코셈>

이 같은 장점으로 수요기관으로부터 호평을 받고 있다. 국내외 대기업 및 대학에 18대 이상 판매했다.

CP-8000은 코셈이 자체 개발한 SEM에 부착하는 것을 목표로 개발이 시작됐지만 사업단은 SEM 본체 부착 장비만이 아니라 독립적으로 판매되는 제품으로 가능성을 제시했다. 코셈은 사업단 제안을 받아들여 독립제품으로 개발함으로써 제품화에 성공할 수 있었다.

이를 통해 경쟁사인 일본 히타치와 지올 제품이 독점해 전량 수입에만 의존하고 있는 국내시장에서 우리나라 고유기술로 국산 장비를 개발 상용화하는 결과로 이어졌다.

이준희 대표는 “자체적으로 개발한 SEM에 CP-8000을 부착해 경쟁력을 높임은 물론 타사 SEM 장비 사용자도 사용할 수 있도록 제품화함으로써 제품 포트폴리오에 다양성을 확보할 수 있게 됐다”며 “향후 미국, 중국, 유럽 등에서 큰 수요가 있을 것으로 전망한다”고 말했다.

대전=이인희기자 leeih@etnews.com