[테크코리아 우리가 이끈다] 한국산업기술평가관리원(KEIT)

파크시스템스 원자현미경
<파크시스템스 원자현미경>

한국산업기술평가관리원(KEIT)은 국가 성장동력을 확보하기 위한 소재·부품·장비(소부장) 핵심기술을 발굴하는 데 집중하고 있다.

KEIT는 국내 산학연에 산업기술 관련 연구자금을 지원해 국가경쟁력을 강화하기 위한 목적으로 2009년 설립된 공공기관이다. 매해 3조원 규모 산업기술 연구개발(R&D) 자금을 투자하고 관리한다. 반도체, 이차전지, 미래 모빌리티, 바이오, 소부장 등 국내에서는 유일하게 산업 전 분야에 대한 연구개발(R&D)을 지원한다.

KEIT는 최근 반도체와 이차전지 핵심소재 등을 지원하면서 성과를 내고 있다.

KEIT가 지원한 파크시스템스는 우수기업연구소육성사업(ATC)으로 30나노미터(㎚) 수준 결함을 측정하는 반도체 공정 결함분석 원자현미경을 개발했다. 삼성전자, SK하이닉스, TSMC 등이 주요 고객이다. 산업용 원자현미경 부분에서 세계 시장 점유율 1위 기업으로 올라섰다. 반도체 공정은 ㎚ 단위로 미세해지면서 그에 걸맞은 검사 장비 수준도 높아진다. 파크시스템스는 이에 대응해 기술을 성공적으로 개발했다.

파크시스템스는 이번 기술 개발로 수십 ㎚ 이하 크기 결함 관리 공정 활용성을 높일 것으로 기대했다. 파크시스템스가 개발한 시스템은 지금까지 정확하게 분석되지 않는 결함에 대해서 분석을 진행하는 새 시스템이다. '나노 디펙트(nano defect)' 측정이라는 새 시장을 개척할 수 있다. 계속해서 증가하는 나노 기술 산업 성격상, 반복성과 재현성, 인라인 환경 적합성, 자동화 등 산업계에서 요구하는 조건을 충족하는 기술을 개발할 수 있다. 고부가가치 블루오션 시장을 창출할 수 있을 것으로 기대된다.

SK넥실리스가 개발한 동박 제품
<SK넥실리스가 개발한 동박 제품>

SK넥실리스가 개발한 동박(전지박) 또한 KEIT가 지원한 대표 성과 사례다. 전기차용 이차전지 핵심 소재인 동박은 음극 집전체 역할을 하는 얇은 구리막이다. 동박이 얇을수록 배터리 공간을 더 많이 확보할 수 있어 고용량과 경량화에 유리하다.

SK넥실리스는 전략적핵심소재기술개발사업 일환으로 선정돼 개발된 동박 기술을 개발했다. 이차전지 전지용량 증가와 이에 따른 6마이크로미터(㎛) 이하 얇은 동박 요구에 부합하고자 무결점 광폭, 장조장, 초극박 제조 기술을 확보했다. 이번에 개발된 동박은 세계 최초로 4㎛ 두께로 양산할 수 있다. SK넥실리스는 이 분야에서 세계 최고 수준 시장 점유율을 기록하고 있다.

KEIT는 앞으로도 반도체·배터리 등 국가첨단전략산업 경쟁력 확보를 위한 지원을 이어간다. 지난 6일 취임한 전윤종 KEIT 원장은 “미국과 중국을 중심으로 산업기술을 전략 자원화하려는 경제적 패권경쟁이 심화되는 가운데 반도체, 배터리 등 국가첨단전략산업 경쟁력 확보를 위한 투자, 기후환경 변화에 대응한 탄소중립 R&D를 강화하겠다”고 밝혔다.

변상근기자 sgbyun@etnews.com