엄한돈 강원대학교 화공·생물공학부 교수가 참여한 공동연구팀이 반도체 제조 공정의 고질적인 한계를 극복할 혁신적인 금속 촉매 화학 식각(MACE) 기술을 개발했다.
연구팀은 기존 반응성 이온 식각(RIE) 공정의 복잡성과 고비용 문제, 수용액 기반 MACE 방식의 구조 제어 한계를 극복하고자 금속 촉매 화학 식각 기술을 새롭게 제시했다. 특히 세계 최초로 가스 상태에서 식각을 수행하는 '건식 금속 촉매 화학 식각(dry MACE)' 기술을 구현해 반도체 제조의 새로운 패러다임을 제시했다.
건식 식각 기술은 오존을 활용해 기존 산소 기반 공정보다 식각 속도를 약 70배 이상 향상, 고정밀 나노구조 제작이 가능해졌다. 아울러 두 번째 연구에서는 금속 촉매 형태에 따라 식각 방향을 정밀하게 제어할 수 있는 원천기술도 함께 개발, 실리콘 나노구조의 고종횡비 형성이 가능해졌다.
이번 연구 결과는 재료과학 분야 세계적 학술지인 'Advanced Materials'와 'Advanced Functional Materials'에 각각 게재된다.
춘천=권상희 기자 shkwon@etnews.com
