펨트론이 웨이퍼 이송모듈(EFEM)을 적용한 웨이퍼 검사 장비(AXI)를 국내 반도체 패키징 기업에 공급했다고 23일 밝혔다.
장비는 엑스레이로 웨이퍼 범프 내부 빈 공간이나 균열, 형상 이상을 측정할 수 있다. 웨이퍼를 옮기는 전체 공정을 EFEM으로 진행하는 것이 특징이다.
웨이퍼가 외부 환경에 노출되지 않아 오염을 차단하고, 고집적 반도체 공정에서 요구되는 청정도 관리와 공정 안정성을 동시에 확보했다고 회사 측은 설명했다.
검사속도도 높였다. 검사 알고리즘과 고속 구동 메커니즘을 최적화해 정밀도 저하 없이 고속 검사가 가능토록 설계했다고 덧붙였다.
펨트론 관계자는 “EFEM과 AXI 3D CT를 결합한 솔루션”이라면서 “AXI 검사장비는 현재 글로벌 외주반도체패키징기업(OSAT)에도 공급될 예정”이라고 밝혔다.
펨트론은 내년 HBM 주요 고객사와 HBM AXI 3D CT 검사장비 개발을 진행해 시장 영역을 확대할 계획이다.
펨트론은 첨단 3D 검사 솔루션 기업으로, 3D 반도체 검사 장비, 반도체 패키징용 엑스레이 검사 장비 등 라인업을 갖췄다.
최근 SK하이닉스와 글로벌 OSAT 기업으로부터 HBM 반도체 검사장비와 웨이퍼 검사 장비 등을 수주하며 고객사를 확대하고 있다.
권동준 기자 djkwon@etnews.com
