KCC(대표 김춘기)가 실리콘 생산 공정의 부산물인 사염화규소를 이용해 반도체 절연막에 쓰이는 TEOS(Tetraethly Orthosilicate)를 만드는 기술을 개발했다고 22일 밝혔다.
TEOS는 웨이퍼에 형성된 미세 회로 패턴에서 전자 간 접촉을 막아주는 반도체 절연막 핵심 소재로 그동안 전량 수입에 의존해 왔다.
TEOS 생산 기술 확보로 연간 100억원의 수입 대체와 고부가가치 실리콘 소재의 상용화가 기대된다. 또 실리콘 생산 과정의 부산물 재활용 및 처리 비용 절감 등의 효과가 예상된다고 회사 측은 설명했다.
KCC는 170억원을 투자, 전주 공장에 증설되는 실리콘 생산 라인에 내년 연 1200톤 규모의 TEOS 생산 라인 구축에 들어갈 예정이다. 이 회사 이원호 상무는 “실리콘은 모든 산업에 적용되는 기초 소재지만 국내 산업 기반이 취약했다”며 “반도체·디스플레이를 비롯, 자외선 차단 코팅·광촉매·광섬유용 등 고부가 제품 비중을 높일 것”이라고 말했다.
한세희기자@전자신문, hahn@
