반도체 장비 연구개발(R&D)에 필수인 ‘패턴 웨이퍼’ 확보에 애로를 겪고 있는 중소 장비업체를 지원하기 위해 정부와 대기업이 손을 맞잡았다.

산업통상자원부는 23일 ‘제7회 반도체의 날’을 맞아 삼성전자·SK하이닉스 등 반도체 대기업과 함께 중소 장비·소재업체에 패턴 웨이퍼를 지원하는 내용의 동반성장 프로그램을 가동한다고 밝혔다. 이는 지난해 10월 발표된 ‘반도체 산업 재도약 전략’의 일환이다.

패턴 웨이퍼는 1대당 1000억원에 달하는 고가의 노광장비를 사용해....