반도체 생산성을 높이기 위해 공정 장비에 인공지능(AI)을 접목하려는 경쟁이 치열하지만 국내는 기반 기술이 매우 취약한 것으로 나타났다. 원천 기술력을 가늠하는 주요 특허 96%를 외산 장비 업체가 독식한 것으로 조사됐다. 가뜩이나 소수의 글로벌 기업이 반도체 장비 시장을 주도하는 상황에서 국산 장비와의 격차가 더 벌어질 지 우려된다.

차세대지능형반도체사업단과 한국반도체디스플레이기술학회는 20일 서울 엘타워에서 개최한 '인공지능을 통한 반도체 장비 및 핵심....