주성엔지니어링(대표 황철주)은 400만달러 상당의 300㎜용 건식식각장치(제품명 타키온)를 하이닉스반도체에 공급했다고 4일 밝혔다.
이에 따라 화학증착장비(CVD) 전문업체로 성장해온 주성은 원자층증착장비(ALD) 시장에 이어 에칭장비로 사업영역을 확대하면서 국내에서 유일한 종합장비업체로서의 틀을 갖추게 됐다.
이번에 공급한 장비는 4년여에 걸쳐 300억여원의 개발비가 투입된 식각장비(웨이퍼에 형성된 패턴에 따라 막의 모양을 깎아 내는 장치)로, 어플라이드 머티어리얼·램리서치·도쿄일렉트론 등 소수 외국계 회사가 세계 시장을 선점하고 있다.
주성의 건식식각장비는 기존 직렬안테나 단점을 극복하기 위해 병렬공명안테나라는 독창적인 기술을 채택해 균일한 플라즈마를 제공할 수 있기 때문에 300㎜ 이상 큰 면적의 웨이퍼 가공에 탁월한 효과를 발휘한다.
이 회사 이영곤 전무는 “이번 식각장치는 본격적인 제품 판매에 앞서 양산 적용 평가용 제품으로 출하된 것으로 평가 기간을 거쳐 양산라인에 본격 투입된다”며 “2002년 말 주성이 반도체용 CVD 전문업체에서 LCD용 CVD로 제품다변화에 성공해 반도체·LCD 장비업체로서 제2의 도약을 이루어내었듯이 이번 CVD에서 식각장치로의 제품다변화 확대는 제3 도약의 계기가 될 것”이라고 밝혔다.
한편 외국계가 독점하다시피 하고 있는 에칭장비 시장에는 이번 300㎜용을 개발한 주성엔지니어링을 비롯해 에칭장비 전문업체인 어댑티브프라즈마테크놀로지(대표 김남헌), 삼성전자 메카트로닉스센터 등 국내 업체들이 도전장을 내놓고 있다.
심규호기자@전자신문, khsim@