디스플레이 장비 국산화의 마지막 성역으로 남아 있던 스테퍼(노광기) 개발이 추진된다.
디스플레이 장비 업체인 디이엔티(대표 박창현)는 미국의 스테퍼 업체인 아조레스(Azores)와 공동 개발 의향서를 체결하고 최근 4세대 저온폴리(LTPS)용 노광기 개발에 착수했다고 24일 밝혔다.
스테퍼는 TFT에 회로 형성을 위해 빛을 쪼여서 회로 패턴을 만드는 LCD의 핵심 장비로 4세대 저온폴리 노광장비 가격은 대당 150억원에 이를 정도로 최고가 장비중의 하나다. LCD용 스테퍼는 일본의 캐논과 니콘이 시장을 독점해왔으며 국내 업체의 경우 삼성테크윈(구 삼성항공)에서 개발을 시도했으나 기술 문제로 실패한 바 있다.
디이엔티와 아조레스가 개발하는 4세대(730x920㎜) 저온폴리(LTPS) 노광기는 저온폴리 뿐 아니라 능동형 OLED 기판 제조에도 사용할 수 있는 제품이다. 기존 4세대 노광기의 회로 선폭이 3∼5μm인데 비해 이 회사가 개발중인 노광기는 1.5μm의 정밀 선폭을 구현한다. 이에 따라 LCD의 해상도를 높일 수 있을 뿐만 아니라 LCD에 반도체를 내장하는 SOG(System On Glass) 구현에도 유리하다. 또 기존 4세대 노광기에 비해 단위 시간당 처리 속도가 1.5배 가량 개선돼 생산량을 크게 높일 수 있다는 장점이 있다. 가격적으로도 기존 장비에 비해 10∼20% 정도 저렴할 것으로 예상된다. 이 회사의 박창현 사장은 “능동형 OLED 제조를 위한 저온폴리 라인 투자가 4세대 라인에 집중되고 있어 향후 시장이 크게 확대될 것”이라며 “차기 개발에서는 지속적으로 국산화율을 지속적으로 높여나갈 계획”이라고 설명했다.
디이엔티와 아조레스는 올해 연말까지 시제품 개발을 완료한 후 내년 5월경 제품을 출시할 예정이다. 아조레스는 미국의 유일한 스테퍼 업체로 반도체용 노광기와 2, 3세대 LCD용 노광장비를 개발 한 바 있다.
유형준기자@전자신문, hjyoo@