앞으로 3년간 정부가 지원해 신성장동력 7대 분야의 장비를 상용화하는 ‘신성장동력 장비 경쟁력 강화 사업’에 참여할 예비사업자들이 선정됐다.
25일 관련 업계와 정부 관계자에 따르면 이달 말께로 예정된 신정장동력 장비 경쟁력 강화사업 최종 확정에 앞서 각 분야별 예비사업자들이 확정됐다.
신성장동력 장비 경쟁력 강화 사업은 신성장동력산업과 자립화가 미약한 장비산업의 균형 발전을 위해 반도체와 디스플레이·LED·그린수송·바이오·의료·방송장비 등 신정장동력 7대 분야 장비 산업의 상용화 기술과 핵심 기술 개발을 선정, 정부가 자금을 지원하는 사업이다.
장비 상용화 기술 분야는 수요연계(반도체·디스플레이·LED·그린수송 장비), 수요 창출(바이오·의료·방송장비)로 나눠, 향후 3년간 지원하게 된다. 또 핵심기술 개발 분야는 복수 분야 장비에 활용이 가능하고 기술 개발 이후 기술 이전을 통해 기업에서 활용 가능한 기술을 개발하게되며 정부에서 5년간 자금을 지원할 예정이다.
신성장동력 분야 중 반도체와 디스플레이는 각 2개 과제별로 각 1개 기업이 선정됐다.
반도체 분야 중에서 열압착을 이용해 칩을 본딩하는 TCB(Thermo-Compression Chip Bonder) 개발 프로젝트 예비사업자로는 반도체 장비업체인 한미반도체로 결정됐다.
반도체 측정장비 업체인 오로스테크놀로지는 10나노와 20나노급 반도체 공정개발을 포함해 양산 수율 향상을 위해 e빔을 이용한 패턴 미세 오정렬(오버레이) 측정장치 개발 프로젝트 예비사업자로 선정됐다.
그동안 반도체 및 디스플레이 계측 분야는 다른 장비 분야와 달리 국산화가 가장 미진한 분야여서 이번 사업자 선정을 계기로 계측 분야에서도 국산화가 이루어질지 주목된다.
장비 상용화 기술을 개발하는데 초점이 맞춰진 이 프로젝트는 수요 기업과 함께 컨소시엄을 구성해 지원해 향후 개발이 완료되면 생산라인에 곧바로 적용될 예정이다.
한미반도체는 하이닉스와 컨소시엄을 구성했으며 오로스테크놀로지는 삼성전자와 동부하이텍이 수요기업으로 참여했다.
디스플레이 분야는 일종의 코팅 장비인 8세대 이상급 초대면적 에어 플로팅 코터(Air Floating Coater) 개발 프로젝트에 디스플레이 장비업체인 나래나노텍이 예비사업자로 확정됐다. TFT LCD용 10세대 이상급 대면적 플라즈마화학증착기(PECVD) 장비 개발 프로젝트에는 주성엔지니어링이 뽑혔다.
정부는 오는 8월 5일 예비사업자를 대상으로 본사업 계획을 마감하고 사업 관련 프리젠테이션과 최종 심사를 거쳐 8월 말에 최종 사업자를 확정지을 계획이다. 반도체와 디스플레이를 포함 총 7대 신정장동력 사업별로 각 2개 과제씩 선정된 예비사업자 중 최종사업자는 절반인 7개사로 결정될 예정이다.
정부 관계자는 “전체 지원 예산이 아직까지 확정되지 않아 각 프로젝트별로 지원금 규모도 불확실하지만 통상 과제별 연간 10억~20억원 내외가 될 것”이라고 밝혔다.
<표> 신성장동력 장비 경쟁력 강화 사업 반도체·디스플레이 분야 예비사업자 현황
서동규기자 dkseo@etnews.com
