삼성전자, 반도체 수율 잡을 ‘스마트센서’ 자체 개발 [숏잇슈]
삼성전자 DS가 반도체 공정 제어 및 관리를 위한 스마트센서 시스템을 자체 개발한다. 반도체 수율과 생산성을 높이기 위한 전략으로, 기존 외산 제품을 국산화한다. 지능형 반도체 생산 체계를 구축하기 위한 시도로, 궁극적으로 '인공지능 팹'을 구현할 것으로 전망된다.
현재 개발을 시작한 스마트센서는 웨이퍼용 플라즈마 균일도를 측정하기 위한 센서로, 반도체 공정 중 핵심인 식각, 증착, 세정 등에 공정 성과가 플라즈마에 의해 좌우될 만큼 중요하기 때문에 이를 정확히 측정하고 관리하기 위한 것이다.
기존 웨이퍼용 스마트센서는 시스템까지 포함해 수천만원에 달하며 대부분 외산 제품을 활용해왔다. 수율 및 생산성 향상을 위해 센서 수요가 최근 급증하고 있는데 해외 의존도가 높은 상황이다.
삼성전자는 스마트 공정을 통한 지능형 반도체 생산 시스템을 신속히 구축하고 비용 절감 등 생산성을 높이기 위해 자체 개발을 진행, 실제 양산 팹에 적용할 계획을 수립했다. 특히 센서는 초소형으로 기존 장비 공간에 큰 영향을 주지 않으면서 활용할 수 있을 것으로 기대한다.
※[숏잇슈]는 'Short IT issue'의 준말로 AI가 제작한 숏폼 형식의 뉴스입니다.
권동준 기자 djkwon@etnews.com
